[发明专利]掩模版组件及其制造装置、制造方法

权利要求书

1.一种掩模版组件制造装置，其特征在于，包括第一拉伸机构和第二拉伸机构；所述掩模版组件包括至少一个掩模版；其中，

所述第一拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第一方向的边缘，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

所述第二拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第二方向的边缘，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直；

其中，所述第一拉伸机构和所述第二拉伸机构，均包括：

夹持单元，被配置为夹持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的边缘；

滑动单元，被配置为带动所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向运动，进而使所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版；

所述滑动单元包括第一滑轨、基座和第二滑轨；

所述第一滑轨沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑轨沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑轨与所述第二滑轨的延伸方向相互垂直；

所述第一滑轨与所述基座相固定，所述夹持单元设置于所述第一滑轨；所述基座设置于所述第二滑轨，并能沿所述第二滑轨滑动；

其中，所述第一滑轨与所述夹持单元之间的摩擦系数与所述第二滑轨与所述基座之间的摩擦系数不同；

其中，所述第一拉伸机构的数量为多个，且多个所述第一拉伸机构沿所述第一方向等间隔排列；所述第二拉伸机构的数量为多个，且多个所述第二拉伸机构沿所述第二方向等间隔排列。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹持单元包括活动夹爪、夹爪升降部和夹爪底座；所述活动夹爪在所述夹爪升降部的带动下能够相对于所述夹爪底座沿第三方向运动，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述活动夹爪与所述夹爪底座之间形成容纳并夹持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的边缘的空间。

3.一种掩模版组件制造方法，其特征在于，包括：

利用掩模版组件制造装置的第一拉伸机构夹持所述掩模版组件的掩模版沿第一方向的边缘，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

利用掩模版组件制造装置的第二拉伸机构夹持所述掩模版组件的掩模版沿所述第二方向的边缘，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直；

其中，所述第一拉伸机构和所述第二拉伸机构，均包括：

夹持单元，被配置为夹持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的边缘；

滑动单元，被配置为带动所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向运动，进而使所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版；

所述滑动单元包括第一滑轨、基座和第二滑轨；

所述第一滑轨沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑轨沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑轨与所述第二滑轨的延伸方向相互垂直；

所述第一滑轨与所述基座相固定，所述夹持单元设置于所述第一滑轨；所述基座设置于所述第二滑轨，并能沿所述第二滑轨滑动；

其中，所述第一滑轨与所述夹持单元之间的摩擦系数与所述第二滑轨与所述基座之间的摩擦系数不同；

其中，所述第一拉伸机构的数量为多个，且多个所述第一拉伸机构沿所述第一方向等间隔排列；所述第二拉伸机构的数量为多个，且多个所述第二拉伸机构沿所述第二方向等间隔排列。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：

利用第一遮蔽条和支撑条，在掩模版框架上形成网格支架；

将所述掩模版夹设在相邻的两条所述第一遮蔽条之间；

其中，所述第一遮蔽条沿所述第一方向或第二方向平行排列，所述支撑条沿所述第二方向或第一方向平行排列，所述第一遮蔽条的延伸方向与所述支撑条的延伸方向垂直。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述掩模版沿所述第一方向和第二方向拉伸并张紧后，将所述掩模版的与所述第一遮蔽条平行且相邻的边缘与所述第一遮蔽条固定。