[发明专利]一种光刻胶剥离试验一体机及光刻胶剥离方法

权利要求书

1.一种光刻胶剥离方法，基于光刻胶剥离试验一体机，所述光刻胶剥离试验一体机包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、设置在所述基板承载组件上方的处理液喷射组件、设置在所述柜体底部的底出液口、与所述处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽；其特征在于，

柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过所述柜体侧壁的侧出液口与所述处理液储槽相通；翻转导流板与所述柜体之间还设置有翻转调节机构；所述翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，所述第一导液板和第二导液板的自由侧边与固定侧边相对，所述第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方；

翻转导流板内设置有冷却元件；基板承载组件上方设置有风刀组件, 风刀组件用于将滞留在基板表面的处理液吹离基板；

光刻胶剥离方法包括以下步骤：

S1：调节翻转导流板至其侧边密封搭接或者密封叠合在第一导液板的自由侧边下方；

S2：向工件喷撒剥离液或者向柜体内腔中冲入剥离液浸泡处理工件，剥离处理完毕后经由底出液口排出剥离液；

S3：调节翻转导流板至其侧边密封搭接或者密封叠合在第二导液板的自由侧边下方；

S4：向工件喷撒置换液，置换处理完毕后经由侧出液口排出置换液；

还包括以下步骤：向工件喷撒剥离液和/或置换液时，启动冷却元件调节翻转导流板的表面温度低于剥离液和/或置换液的温度；

置换液为异丙醇，向工件喷撒置换液时翻转导流板的表面温度为10～20℃；

所述处理液储槽包括剥离液储槽、置换液储槽和废水储槽，所述底出液口与所述剥离液储槽和废水储槽连通，所述侧出液口与置换液储槽连通。

2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离方法，其特征在于，翻转导流板的端边与所述柜体的内表面之间设置有柔性密封条。

3.根据权利要求1所述的光刻胶剥离方法，其特征在于，翻转调节机构包括设置在翻转导流板铰接处与第二导液板之间的聚四氟乙烯柔性索，聚四氟乙烯柔性索的一端与翻转导流板连接，另一端通过卷轴与电机连接。

4.根据权利要求1所述的光刻胶剥离方法，其特征在于，处理液喷射组件包括剥离液喷射组件、置换液喷射组件和纯水喷射组件，所述剥离液喷射组件与所述剥离液储槽连通，置换液喷射组件与所述置换液储槽连通，所述纯水喷射组件与纯水源连通。