[发明专利]检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器

说明书

本公开提出一种检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器，涉及检测技术领域。通过在检测镜头上设置各种传感器，例如，压力传感器、光电传感器、电容传感器等，控制器基于这些传感器传来的检测信号控制检测镜头和/或置物台改变运动，防止碰撞的发生或减小碰撞损失。

技术领域

本公开涉及检测技术领域，特别涉及一种检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器。

背景技术

随着现代工业的发展，产品往往需要进行形貌畸变检测，以满足加工精度的要求。

一些高精度光学镜头工作行程短，仅有4mm，光学镜头与被测对象很可能发生碰撞，损坏光学镜头或被测对象。

发明内容

发明人发现，弹片等机械式防碰撞设备体积大、应力大，会影响光学镜头的正常工作，不适合高精度检测。

鉴于此，本公开提出一种适合高精度检测的防碰撞解决方案，防止碰撞的发生或减小碰撞损失。

根据本公开的一个方面，提出一种检测设备，包括：

检测镜头，包括镜片和安装所述镜片的外壳；

设置于检测镜头的距离传感器，用于将检测镜头与承载于置物台的被测对象的相对位置信息转化为控制信号，所述距离传感器暴露出至少部分所述镜片，所述距离传感器包括薄膜式压敏元件、光电传感器和电容传感器中的一种或几种的组合，所述薄膜式压敏元件包裹在所述外壳外表面，所述光电传感器位于所述外壳朝向置物台的端部，所述电容传感器位于所述外壳侧壁；

控制器，基于所述控制信号控制检测镜头和/或置物台改变运动。

在一些实施例中，所述距离传感器包括所述薄膜式压敏元件，所述薄膜式压敏元件的外表面还包覆有缓冲材料层。

在一些实施例中，所述距离传感器包括所述薄膜式压敏元件，所述薄膜式压敏元件包裹所述外壳的朝向置物台的端面以及邻近所述置物台的部分侧壁表面。

在一些实施例中，所述薄膜式压敏元件的厚度0.25mm。

在一些实施例中，缓冲材料层为硅胶层。

在一些实施例中，所述光电传感器为对射式光电传感器，所述对射式光电传感器包括成对设置于所述外壳朝向置物台的端部的发射器和接收器，发射器的发射面与接收器的接收面相对设置，所述发射器发射的信号用于所述检测镜头与置物台之间传播。

在一些实施例中，所述光电传感器为反射式光电传感器，所述反射式光电传感器包括设置于所述外壳朝向置物台的端部的同一位置处的发射器和接收器，发射器发射的信号传播方向垂直所述镜头的光轴，所述发射器发射的信号用于所述检测镜头与置物台之间传播。

在一些实施例中，检测镜头的相对的两个侧壁分别设置一个电容传感器。

在一些实施例中，还包括：第一平移台，用于带动所述置物台在移动平面内平移；旋转台，用于带动所述置物台绕平行于所述移动平面的旋转轴旋转。

在一些实施例中，还包括：第二平移台，用于带动所述检测镜头沿移动方向平移，所述移动方向与所述检测镜头光轴平行或具有夹角。

根据本公开的一个方面，提出一种检测镜头组件，包括：

检测镜头，包括镜片和安装所述镜片的外壳；以及

设置于检测镜头的距离传感器，用于将检测镜头与承载于置物台的被测对象的相对位置信息转化为控制信号，所述距离传感器暴露出所述镜片，所述距离传感器包括薄膜式压敏元件、光电传感器和电容传感器中的一种或几种的组合，所述薄膜式压敏元件包裹在所述外壳外表面，所述光电传感器位于所述外壳朝向置物台的端部，所述电容传感器位于所述外壳侧壁。