[发明专利]检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

检测镜头，包括镜片和安装所述镜片的外壳；

设置于检测镜头的距离传感器，用于将检测镜头与承载于置物台的被测对象的相对位置信息转化为控制信号，所述距离传感器暴露出至少部分所述镜片，所述距离传感器包括薄膜式压敏元件和光电传感器，所述薄膜式压敏元件包裹所述外壳朝向置物台的端面以及邻近所述置物台的部分侧壁表面，所述光电传感器位于所述外壳朝向置物台的端部，所述光电传感器包括对射式光电传感器，所述对射式光电传感器包括成对设置于所述外壳朝向置物台的端部的发射器和接收器，所述发射器的发射面与所述接收器的接收面相对设置，所述发射器发射的信号用于在所述检测镜头与所述置物台之间传播，以在所述检测镜头的检测端面之前形成一个检测面；

控制器，被配置为基于所述控制信号控制检测镜头和/或置物台改变运动；若所述置物台的承载面与检测镜头光轴垂直，开启所述薄膜式压敏元件和所述光电传感器；若所述置物台的承载面与检测镜头光轴具有夹角，开启所述薄膜式压敏元件并关闭所述光电传感器。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述薄膜式压敏元件的外表面还包覆有缓冲材料层。

3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述距离传感器还包括电容传感器，位于所述外壳侧壁。

4.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述薄膜式压敏元件的厚度0.25mm。

5.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，

所述缓冲材料层为硅胶层。

6.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，

所述光电传感器还包括反射式光电传感器，所述反射式光电传感器包括设置于所述外壳朝向置物台的端部的同一位置处的发射器和接收器，所述发射器发射的信号传播方向垂直所述检测镜头的光轴，所述发射器发射的信号用于在所述检测镜头与所述置物台之间传播。

7.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，

所述检测镜头的相对的两个侧壁分别设置一个电容传感器。

8.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：第一平移台，用于带动所述置物台在移动平面内平移；旋转台，用于带动所述置物台绕平行于所述移动平面的旋转轴旋转。

9.如权利要求1或8所述的检测设备，其特征在于，还包括：第二平移台，用于带动所述检测镜头沿移动方向平移，所述移动方向与所述检测镜头光轴平行或具有夹角。

10.一种权利要求1-9任一项所述的检测设备的控制方法，其特征在于，包括：

接收距离传感器发出的检测信号，所述距离传感器包括薄膜式压敏元件和光电传感器；

基于所述检测信号，控制检测镜头和/或置物台改变运动；

若所述置物台的承载面与检测镜头光轴垂直，开启所述薄膜式压敏元件和所述光电传感器。

11.如权利要求10所述的控制方法，其特征在于，所述距离传感器还包括电容传感器，位于所述外壳侧壁，并且，所述检测设备还包括旋转台；

当所述置物台的承载面与检测镜头光轴具有夹角时，开启薄膜式压敏元件，关闭光电传感器和电容传感器；

当所述置物台的承载面与检测镜头光轴垂直时，开启薄膜式压敏元件、光电传感器和电容传感器。

12.一种控制器，包括：

存储器；以及

耦接至所述存储器的处理器，所述处理器被配置为基于存储在所述存储器中的指令，执行权利要求10或11所述的控制方法。

13.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现权利要求10或11所述的控制方法。