[发明专利]制作空气脉冲产生元件的方法

说明书

本发明提供了一种制作空气脉冲产生元件的方法。所述方法包括提供包括振膜的薄膜层；在薄膜层与第一板体之间形成第一腔室；图案化薄膜层，以形成多个阀膜，其中振膜与阀膜由薄膜层所形成；在薄膜层与第二板体之间形成第二腔室；以及在第一板体与第二板体中形成多个通道。借此，可降低制作复杂度并提升良品率。

技术领域

本公开涉及一种制作空气脉冲产生元件的方法，特别是涉及一种具有低制作复杂度与高良品率的制作空气脉冲产生元件的方法。

背景技术

扬声器驱动器和背机壳是扬声器行业的两大设计挑战。传统扬声器驱动器很难覆盖整个音频频带，例如从20Hz到20KHz，这是因为薄膜位移与1/f²成比例，即D∝F²。另一方面，为了产生高保真度的声音，传统扬声器的背机壳的体积/尺寸需要足够大。

为了克服上述设计挑战，申请人在美国申请号16/125,761中提出了一种空气脉冲产生元件和声音产生装置，其使用以脉冲速率产生的多个脉冲产生声音，其中脉冲速率高于最大可听到的频率，并且根据输入音频信号，所述多个脉冲可进行振幅调变。通过利用由周围环境和人耳结构引起的低通效应，可感受到对应于输入音频信号的声音。美国申请号16/125,761中的声音产生装置能够涵盖整个音频频带，并且其外壳体积/尺寸显著地减小。

然而，美国申请号16/125,761中的空气脉冲产生元件需要3个不同的膜层来制作其阀膜及振膜，造成制作复杂度高，以致于良品率过低。因此，有必要降低空气产生元件的制作复杂度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种制作空气脉冲产生元件的方法，以降低制作复杂度并提升良品率。

根据一实施例，本发明揭露一种制作空气脉冲产生元件的方法。所述方法包括提供包括振膜的薄膜层；在薄膜层与第一板体之间形成第一腔室；图案化薄膜层，以形成多个阀膜，其中振膜与阀膜由薄膜层所形成；在薄膜层与第二板体之间形成第二腔室；以及在第一板体与第二板体中形成多个通道。

在本发明制作空气脉冲产生元件的方法中，阀膜和振膜是由相同的薄膜层所形成，且致动器形成在薄膜层的同一表面上，因此可降低了制作复杂度，并改善了良品率。

附图说明

图1示出了根据本发明第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的流程图。

图2到图11示例性地示出了根据本发明第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的不同阶段的结构。

图12示出了根据本发明一些实施例通过使用相同光罩图案化可形变层与底部导电层的结构的示意图。

图13示出了根据本发明一些实施例的振膜被刻蚀为具有凹槽的结构的示意图。

图14示出了根据本发明第一实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。

图15示出沿着图14的剖线A-A’与剖线B-B’的剖视示意图

图16示出了根据本发明第二实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。

图17示出沿着图16的剖线C-C’的剖视示意图。

图18到图19示出了根据本发明第二实施例制作空气脉冲产生元件的方法示意图。

图20到图21示出了根据本发明第二实施例的一变型实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。

图22到图24示出了根据本发明第三实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。

图25到图28示出了根据本发明第四实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。

图29示出了根据本发明第一实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。