[发明专利]制作空气脉冲产生元件的方法

权利要求书

1.一种制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，包括：

提供一薄膜层；

在所述薄膜层上形成多个致动器；

在所述薄膜层与一第一板体之间形成一第一腔室；

图案化所述薄膜层，其中在图案化所述薄膜层之后，所述薄膜层被分割以形成一振膜以及多个阀膜，所述多个致动器包括位于所述振膜上的一振膜致动器以及位于所述多个阀膜上的多个阀膜致动器，且所述第一板体的一部分与所述薄膜层位于所述振膜与所述多个阀膜中的一个之间的一部分接合；

在所述薄膜层与一第二板体之间形成一第二腔室；以及

在所述第一板体与所述第二板体中形成多个通道，其中所述多个阀膜中的一个在垂直所述薄膜层的方向上与所述多个通道中对应的一个重叠。

2.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，形成所述多个致动器包括形成多个第一电极、形成多个可形变区块以及形成多个第二电极，且所述可形变区块通过图案化同一可形变层所形成。

3.如权利要求2所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述可形变层是通过压电力、静电力、电磁力或电热力产生形变。

4.如权利要求2所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述可形变区块将所述多个第一电极与所述多个第二电极电隔离。

5.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述振膜致动器以及所述多个阀膜致动器同时形成。

6.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，

形成所述第一腔室包括通过一第一接合剂将所述第一板体与所述薄膜层的一第一表面接合；以及

形成所述第二腔室包括通过一第二接合剂将所述第二板体与所述薄膜层相对于所述第一表面的一第二表面接合。

7.如权利要求6所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述第一接合剂是在将所述第一板体与所述第一表面接合之前形成在所述第一板体上。

8.如权利要求6所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述第一接合剂是在将所述第一板体与所述第一表面接合之前形成在所述薄膜层上。

9.如权利要求8所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，图案化所述薄膜层包括在所述振膜中形成至少一个开口，且所述第一接合剂覆盖所述至少一个开口。

10.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，提供所述薄膜层还包括提供一支撑基板以及一保护层，所述保护层与所述薄膜层依序堆迭在所述支撑基板上，且所述支撑基板在形成所述第一腔室之后被移除。

11.如权利要求10所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，还包括图案化所述保护层，以在对应所述多个通道中的一个的所述多个阀膜中的一个阀膜上形成一保护区块。

12.如权利要求11所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，还包括在形成所述第一腔室之前在所述多个阀膜中的一个阀膜下形成一绝缘区块，其中所述一个阀膜设置在所述保护区块与所述绝缘区块之间。

13.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，还包括在提供所述薄膜层与形成所述多个致动器之间图案化所述薄膜层，以在所述振膜中形成至少一个开口。

14.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，还包括在形成所述第一腔室之前在所述振膜上形成一弹性层，且形成所述薄膜层还包括在所述振膜中形成对应所述弹性层的至少一开口。