[发明专利]一种光刻投影物镜及光刻机有效
| 申请号： | 201910752824.7 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN112394474B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 侯宝路;王彩红;王进霞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/06;G02B13/14;G02B13/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 | ||
1.一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜包括沿光轴且由物面指向像面顺次排列的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组；所述第一透镜组的焦距为f1，所述第二透镜组的焦距为f2，所述第三透镜组的焦距为f3，f1、f2和f3满足：
-4＜f2/f1＜-1，-0.4＜f3/f2＜-0.1，0.4＜f3/f1＜0.8；
所述第一透镜组包括沿光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜；所述第一透镜为双凹透镜，所述第二透镜、所述第三透镜和所述第五透镜为弯月透镜，所述第四透镜为双凸透镜；
所述第二透镜组包括沿光轴顺次排列的第六透镜和第七透镜，所述第六透镜和所述第七透镜为弯月透镜；
所述第三透镜组包括沿光轴顺次排列的第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜和第十九透镜，所述第八透镜、所述第十三透镜、所述第十七透镜和所述第十八透镜为双凹透镜，所述第九透镜、所述第十透镜、所述第十五透镜、所述第十六透镜和所述第十九透镜为弯月透镜，所述第十一透镜、所述第十二透镜、所述第十四透镜为双凸透镜。
2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组和所述第三透镜组具有正的光焦度，所述第二透镜组具有负的光焦度。
3.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组中的任何一个均包括至少一个非球面透镜，一个所述非球面透镜包括一个非球面表面。
4.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第七透镜、所述第九透镜、所述第十六透镜和所述第十八透镜为非球面透镜。
5.一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜包括沿光轴且由物面指向像面顺次排列的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组；所述第一透镜组的焦距为f1，所述第二透镜组的焦距为f2，所述第三透镜组的焦距为f3，f1、f2和f3满足：
-4＜f2/f1＜-1，-0.4＜f3/f2＜-0.1，0.4＜f3/f1＜0.8；
所述第一透镜组包括沿光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；所述第一透镜为双凹透镜，所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜为弯月透镜，所述第五透镜和所述第六透镜为双凸透镜；
所述第二透镜组包括第七透镜，所述第七透镜为弯月透镜；
所述第三透镜组包括沿光轴顺次排列的第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜和第十九透镜，所述第八透镜、所述第十一透镜、所述第十二透镜和所述第十四透镜为双凸透镜，所述第九透镜、所述第十透镜、所述第十五透镜、所述第十六透镜和所述第十九透镜为弯月透镜，所述第十三透镜、所述第十七透镜和所述第十八透镜为双凹透镜。
6.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第二透镜、所述第七透镜、所述第九透镜、所述第十六透镜和所述第十八透镜为非球面透镜。
7.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜的像方数值孔径为0～0.5。
8.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜的像方视场直径为0～66mm。
9.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的光刻投影物镜。
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