[发明专利]临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法

权利要求书

1.一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统，其特征在于该控制系统包括：

智能图像识别单元，用以提取屏幕画面，并自动辨识警告事件的类型；

处理单元，用以在该屏幕画面的显示区域自动搜寻目标图案；以及

远程操作单元，若在该屏幕画面的该显示区域自动搜寻到该目标图案，则该远程操作单元自动移动该目标图案至该显示区域的中心。

2.如权利要求1所述的控制系统，其中当该目标图案已移至该显示区域的中心，则该远程操作单元自动点击确认按钮。

3.如权利要求1所述的控制系统，其中若在该屏幕画面的该显示区域无法自动搜寻到该目标图案，则该远程操作单元更自动执行对焦调整程序，以使该显示区域重新对焦。

4.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击对焦调节按钮。

5.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击焦距放大按钮，以放大焦距。

6.如权利要求3所述的控制系统，其中在该对焦调整程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击焦距缩小按钮，以缩小焦距。

7.如权利要求1所述的控制系统，还包括：

若在该屏幕画面的该显示区域无法自动搜寻到该目标图案，则执行观测范围移动程序。

8.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击倍率放大按钮，以放大倍率。

9.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元根据预设坐标位置点击倍率缩小按钮，以缩小倍率。

10.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元自动连续点击该屏幕画面的该显示区域的多个角落。

11.如权利要求7所述的控制系统，其中在该观测范围移动程序中，该远程操作单元自动连续点击该屏幕画面的该显示区域的多个边缘。

12.如权利要求1所述的控制系统，其中该智能图像识别单元将该屏幕画面输入至图像辨识模型，以辨识出该警告事件的类型。

13.一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制方法，其特征在于该控制方法包括：

提取屏幕画面；

自动辨识警告事件的类型；

在该屏幕画面的显示区域自动搜寻目标图案；以及

若在该屏幕画面的该显示区域自动搜寻到该目标图案，则自动移动该目标图案至该显示区域的中心。

14.如权利要求13所述的控制方法，还包括：

当该目标图案已移至该显示区域的中心，则自动点击确认按钮。

15.如权利要求13所述的控制方法，还包括：

若在该屏幕画面的该显示区域无法自动搜寻到该目标图案，则自动执行对焦调整程序，以使该显示区域重新对焦。

16.如权利要求15所述的控制方法，其中在该对焦调整程序中，根据预设坐标位置点击对焦调节按钮。

17.如权利要求15所述的控制方法，其中在该对焦调整程序中，根据预设坐标位置点击焦距放大按钮，以放大焦距。

18.如权利要求15所述的控制方法，其中在该对焦调整程序中，根据预设坐标位置点击焦距缩小按钮，以缩小焦距。