[发明专利]静电吸头有效
| 申请号： | 201910741214.7 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111146974B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 陈立宜 | 申请（专利权）人： | 美科米尚技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 萨摩亚阿庇亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 吸头 | ||
1.一种静电吸头，其特征在于，包含：
主体；
电极，设置在所述主体上；
至少一个介电层，设置并覆盖在所述电极上；以及
复合介电层，设置在所述至少一个介电层上，包含：聚合物层；以及
多个无机介电微粒，分布在所述聚合物层中，所述无机介电微粒的介电系数大于所述聚合物层的介电系数，其中所述至少一个介电层的电阻率大于所述复合介电层的电阻率。
2.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述至少一个介电层的硬度大于所述复合介电层的硬度。
3.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述至少一个介电层包含无机材料。
4.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述至少一个介电层包含氮化硅、二氧化铪、二氧化硅或其组合。
5.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述至少一个介电层包含铁氟龙、环氧树脂或其结合。
6.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述至少一个介电层的数量为多个。
7.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述无机介电微粒包含二氧化钛、钛酸钡或二氧化锆。
8.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，每一个所述无机介电微粒上涂有金属，并由所述金属包裹住。
9.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，所述复合介电层的厚度大于所述至少一个介电层的厚度。
10.根据权利要求1所述的静电吸头，其特征在于，还包含第二电极，设置在所述至少一个介电层和所述主体之间，其中所述第二电极相邻所述电极并与所述电极电性隔离。
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