[发明专利]一种光学元件损伤测试方法及装置

说明书

本发明涉及光学元件损伤测试技术领域，尤其涉及一种新型光学元件损伤测试方法及装置。根据泵浦光获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；由所述成像光源一生成元件表面损伤图像；由所述成像光源二生成元件表面图像；由所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示。本发明不仅能够清晰的区分出光学元件表面异物或损伤，而且能够得到详细的损伤区分图，降低对光学元件的维护困难程度，减少光学元件的维护成本。

技术领域

本发明涉及光学元件损伤测试技术领域，尤其涉及一种光学元件损伤测试方法及装置。

背景技术

光学元件是光学系统的基本组成单元，大部分光学元件起成像的作用，广泛应用于显微镜、高能激光系统以及光电系统中，光学元件造价高昂却非常脆弱；在日常使用中，光学元件不仅会接触灰尘、水汽和皮肤油脂等污染物，还会在使用过程中因为磨损等原因而直接造成永久性损伤；维护人员需要根据光学元件的损伤类别进行不同的处理方法，而在对拆卸下的光学元件进行维护的过程中，很难对光学元件进行表面的损伤进行有效的辨别，更不能得到详细的损伤分布图，导致使用中光学元件的维护特别困难，维护成本特别大。

为此，我们提出一种光学元件损伤测试方法及装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光学元件损伤测试方法及装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种光学元件损伤测试方法，所述方法包括：

S01：由单一光源泵浦光通过转换模块同时获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；

S02：由第一生成模块根据所述成像光源一生成元件表面损伤图像；

S03：由接收CCD一根据所述成像光源二生成元件表面图像；

S04：由接收CCD二根据所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；

S05：由图像生成模块根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示。

其中，所述成像光源一包括两束泵浦光，且两束泵浦光分别从待测光学元件的两端同时射入，系统根据所述两束泵浦光的反射情况生成所述元件表面损伤图像；

其中，所述成像光源二为所述泵浦光通过分光装置得到的，所述成像光源二经过反射成像后，系统根据所述成像光源二的反射成像生成所述元件表面图像；

其中，所述成像光源三为所述泵浦光通过分光装置和聚焦装置后生成的，所述成像光源三经过反射成像后，系统根据所述成像光源三的反射成像生成所述元件表面细节图像。

进一步地，所述装置包括：成像光源生成模块：根据泵浦光获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；

第一生成模块：由所述成像光源一生成元件表面损伤图像；

第二生成模块：由所述成像光源二生成元件表面图像；

第三生成模块：由所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；

图像生成模块：根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示。

进一步地，所述成像光源生成模块包括多个分光片、聚焦装置、和正透镜，所述成像光源生成模块将泵浦光分割成所述成像光源一、所述成像光源二和所述成像光源三。

附图说明

图1为实施例1的流程图；