[发明专利]一种光学元件损伤测试方法及装置有效
| 申请号： | 201910741078.1 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110346381B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 戴志平 | 申请（专利权）人： | 衡阳师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/94 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 雷正 |
| 地址： | 421008 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 损伤 测试 方法 装置 | ||
1.一种光学元件损伤测试方法，其特征在于，所述方法包括：
S01：由单一光源泵浦光通过转换模块同时获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；
S02：由第一生成模块根据所述成像光源一生成元件表面损伤图像；
S03：由接收CCD一根据所述成像光源二生成元件表面图像；
S04：由接收CCD二根据所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；
S05：由图像生成模块根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示；
其中，所述成像光源一包括两束泵浦光，且两束泵浦光分别从待测光学元件的两端同时射入，系统根据所述两束泵浦光的反射情况生成所述元件表面损伤图像；
其中，所述成像光源二为所述泵浦光通过分光装置得到的，所述成像光源二经过反射成像后，系统根据所述成像光源二的反射成像生成所述元件表面图像；
其中，所述成像光源三为所述泵浦光通过分光装置和聚焦装置后生成的，所述成像光源三经过反射成像后，系统根据所述成像光源三的反射成像生成所述元件表面细节图像。
2.一种光学元件损伤测试装置，其特征在于，所述装置包括：
成像光源生成模块：根据泵浦光获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；
第一生成模块：由所述成像光源一生成元件表面损伤图像；
第二生成模块：由所述成像光源二生成元件表面图像；
第三生成模块：由所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；
图像生成模块：根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示。
3.根据权利要求2所述的一种光学元件损伤测试装置，其特征在于，所述成像光源生成模块包括多个分光片、聚焦装置、和正透镜，所述成像光源生成模块将泵浦光分割成所述成像光源一、所述成像光源二和所述成像光源三。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于衡阳师范学院，未经衡阳师范学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910741078.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
