[发明专利]微型测试探针

权利要求书

1.一种用于测量被测装置(DUT)的高速小电压信号的微型差分探针，该探针包括：

探针主体，其包括柔性基板和沿该探针主体的纵向长度延伸的多个信号传输线；

第一探针连接电路，其位于该探针主体的第一端，该第一探针连接电路包括多个暴露的导线、分别联接在该暴露的导线和该信号传输线之间的多个部件、以及与该部件相对安装的局部机械加强件，其中该暴露的导线能够连接到该DUT用于接收该小电压信号；和

第二探针连接电路，其位于该探针主体的与该第一端相对的第二端，该第二探针连接电路包括分别联接到该信号传输线的多个传输线连接器、以及位于该探针主体和该传输线连接器之间的该柔性基板的弯曲部分，其中该柔性基板的该弯曲部分使得该传输线连接器能够相对于该探针主体的纵向长度基本轴向地离开该探针。

2.权利要求1的探针，其中该小电压信号是电压值小于约5伏的宽带信号，并且该探针具有从DC到约20 GHz的平坦频率响应。

3.权利要求1的探针，其中该机械加强件由挤压成预定形状的粘合剂形成，其增加了对该部件的结构支撑，并且

其中该机械加强件在该柔性基板与该部件相对的一侧上形成为基本上呈U形，该U形的开口端面向该探针主体的第一端。

4.权利要求1的探针，其中该第一探针连接电路进一步包括分别围绕多个导通孔的多个表面接触焊盘，其中该暴露的导线中的每一者具有穿过相应一个该导通孔的钩状末端，以将每个暴露的导线电气地和机械地固定到该第一探针连接电路。

5.权利要求1的探针，其中该第二探针连接电路进一步包括连接器加强件，该连接器加强件被配置成为该超小型传输线连接器提供刚性支撑。

6.权利要求1的探针，其进一步包括：

壳体，其容纳该第二探针连接电路，并限定能够分别接近该传输线连接器的开口。

7.权利要求1的探针，其中该部件包括至少一个陶瓷裸片，该陶瓷裸片在一侧具有电阻器并在相对侧具有电容器，形成了RC电路，其中该电容器是可激光微调的叉指式电容器，其能够补偿探针响应。

8.权利要求1的探针，其中该柔性基板包括：

通过该多个传输线连接器电连接到地的接地平面和被蚀刻以形成多个信号传输线的信号平面；和

接地线，其布置在该柔性基板的与该多条信号传输线之间的该接地平面相对的表面上，该接地线在该多条信号传输线之间提供电磁屏蔽，并且其中该接地线包括以预定间隔放置的将该接地线连接到该接地平面的导通孔。

9.一种用于测量被测装置(DUT)的电压值小于约5伏的电压信号的探针，该探针包括：

柔性基板；

形成在该柔性基板中的柔性探针微带，该柔性探针微带包括沿该柔性基板的纵向长度延伸的第一和第二信号传输线以及在该第一和第二信号传输线之间的接地线，该接地线在该第一和第二信号传输线之间提供电磁屏蔽；

第一和第二导线，钩入形成在该柔性基板远端的孔中，并通过可调RC网络电联接到该第一和第二信号传输线；

包括环氧树脂的局部机械加强件，其形成在该柔性基板的与该可调RC电路相对的一侧上；和

在该柔性基板的近端分别电联接到该第一和第二信号传输线的第一和第二超小型推进式(SMP)连接器，

其中该柔性基板包括邻近该第一和第二SMP连接器的弯曲部分，使得该第一和第二SMP连接器能够从该探针面向基本上轴向的方向。

10.一种用于测量被测装置(DUT)的小电压信号的微型探针，该探针包括：探针主体，其包括柔性基板和该柔性基板中的多个信号传输线；

第一探针连接电路，其位于该探针主体的第一端，该第一探针连接电路包括多个暴露的导线、分别联接在该暴露的导线和该信号传输线之间的多个表面贴装技术(SMT)部件、以及由环氧树脂形成的局部机械加强件，该局部机械加强件安装在该柔性基板的与该SMT部件相对的一侧上，其中该暴露的导线能够连接到该DUT用于接收该小电压信号；和

第二探针连接电路，其位于该探针主体的与该第一端相对的第二端，该第二探针连接电路包括分别联接到该信号传输线的多个超小型传输线连接器、以及位于该探针主体和该超小型传输线连接器之间的该柔性基板的弯曲部分，其中该柔性基板的弯曲部分和该超小型传输线连接器容纳在壳体中，

其中每个暴露导线的直径小于约0.004英寸，并且该暴露导线从其延伸的该第一探针连接电路的宽度在约0.040英寸和约0.100英寸之间。