[发明专利]下部电极检测系统

说明书

本发明公开了一种下部电极检测系统，包括检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。采用以上方案，充分模拟下部电极使用环境，排除环境空气及湿度等影响，快速检测下部电极电阻及漏电流等指标，大大提高检测效率和检测质量，有效防止不合格下部电极板用于生产，有利于提高后期蚀刻产品的良品率，同时减少安全事故。

技术领域

本发明涉及LCD干刻反应腔部件领域，具体涉及一种下部电极检测系统。

背景技术

下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，其主要包括母材、母材表面的氧化铝涂层、钨涂层和安装在母材上的电极棒，使用过程中主要通过电极棒引入高电压，下部电极的涂层结构为上下两个绝缘层(氧化铝)中间夹着一层电极层(钨层)，导电棒给电极层(钨层)供电并在上部绝缘层表面形成静电，通过产生的静电吸附、固定需要被加工的玻璃面板。随着技术的进步，对涂层绝缘性的要求也越来越高。下部电极在长期储存过程中，容易受到环境温度、湿度等影响，例如当母材表面的绝缘涂层受潮或电极棒自身受损时，则会大大影响电极棒的导电效率，也会增加下部电极下部绝缘层的漏电流，从而影响产品蚀刻质量，故亟需一种快速检测下部电极质量是否达标的设备，以确保其可正常用于蚀刻生产，避免出现安全或质量事故。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种下部电极检测系统，通过模拟使用环境，快速检测下部电极的电阻、漏电流等指标，实现下部电极的快速检测，确保安全生产。

为实现上述目的，本发明技术方案如下：

一种下部电极检测系统，其关键在于，包括：

检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；

真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；

导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。

采用以上结构，检测过程中，将下部电极放入检测室中，并使电极棒与导电接头接触，然后通过真空泵对检测室进行抽真空，模拟蚀刻过程的真空环境，然后再通过绝缘电阻测试仪与检测接驳口相连，对其通电，并检测其导通情况和漏电情况，从而实现下部电极的快速检测。

作为优选：所述检测室内具有水平设置的加热铝板，所述加热铝板的周向外缘与检测箱内侧壁之间留有间隙，该加热铝板内部均匀分布有加热棒，所述检测箱外侧壁上设有与所有加热棒导通的加热接驳口。采用上述方案，一方面模拟蚀刻过程的加热环境，另一方面可对下部电极进行烘干，蒸发水分，避免或弱化受潮绝缘涂层的影响，提高检测结果的准确性。

作为优选：所述加热铝板上对应导电接头的位置设有安装孔，所述导电接头位于该安装孔内，其包括上下正对设置的绝缘顶座和绝缘底座，其中绝缘顶座的上表面与加热铝板的上表面齐平，所述绝缘底座上通过弹簧竖直支承有金属导电杆，所述弹簧处于自然状态时，所述金属导电杆的上端凸出于绝缘顶座的上表面，所述加热铝板，所述金属导电杆的下端通过电线与检测接驳口电性连接。采用以上方案，因为下部电极通常较重，这样设置可避免在下部电极下放过程中，与金属导电杆发生刚性触碰，对其造成损伤，同时确保下部电极下放之后，能与加热铝板紧贴，避免出现缝隙，有利于进一步提高检测结果的精确度，同时金属导电杆采用弹性支撑，避免直接承重，有利于延长其使用寿命。

作为优选：所述绝缘顶座和绝缘底座固定连接，并在两者之间设有导向座，所述导向座具有上端敞口的安装腔，所述金属导电杆竖向设置于该安装腔内，所述金属导电杆上端靠近其端部的位置具有与所述安装腔滑动配合的导平盘，所述弹簧套设于金属导电杆上，其上下两端分别与导平盘和安装腔底壁抵接，所述弹簧处于自然状态时，所述导平盘与绝缘顶座的上表面齐平。采用以上方案，有利于保证金属导电杆伸缩位置固定，防止其发生偏斜，确保下部电极上的电极棒可与金属导电杆正对接触。