[发明专利]下部电极检测系统

权利要求书

1.一种下部电极检测系统，其特征在于，包括：

检测箱(1)，所述检测箱(1)呈中空结构，其内部具有检测室(10)；

真空泵(2)，其用于对所述检测室(10)进行抽真空操作；

导电接头(3)，其竖向设置于检测室(10)内，所述检测箱(1)外侧壁上设有与该导电接头(3)导通的检测接驳口(11)。

2.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述检测室(10)内具有水平设置的加热铝板(4)，所述加热铝板(4)的周向外缘与检测箱(1)内侧壁之间留有间隙，该加热铝板(4)内部均匀分布有加热棒，所述检测箱(1)外侧壁上设有与所有加热棒导通的加热接驳口(12)。

3.根据权利要求2所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述加热铝板(4)上对应导电接头(3)的位置设有安装孔(40)，所述导电接头(3)位于该安装孔(40)内，其包括上下正对设置的绝缘顶座(31)和绝缘底座(30)，其中绝缘顶座(31)的上表面与加热铝板(4)的上表面齐平，所述绝缘底座(30)上通过弹簧(32)竖直支承有金属导电杆(33)，所述弹簧(32)处于自然状态时，所述金属导电杆(33)的上端凸出于绝缘顶座(31)的上表面，所述加热铝板(4)，所述金属导电杆(33)的下端通过电线与检测接驳口(11)电性连接。

4.根据权利要求3所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述绝缘顶座(31)和绝缘底座(30)固定连接，并在两者之间设有导向座(34)，所述导向座(34)具有上端敞口的安装腔(340)，所述金属导电杆(33)竖向设置于该安装腔(340)内，所述金属导电杆(33)上端靠近其端部的位置具有与所述安装腔(340)滑动配合的导平盘(330)，所述弹簧(32)套设于金属导电杆(33)上，其上下两端分别与导平盘(330)和安装腔(340)底壁抵接，所述弹簧(32)处于自然状态时，所述导平盘(330)与绝缘顶座(31)的上表面齐平。

5.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述检测箱(1)上设有与所述检测室(10)贯通的通风阀门(13)。

6.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述真空泵(2)配置有冷冻机(5)。

7.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述检测箱(1)包括呈长方体结构的箱体(1a)，所述检测室(10)成型于箱体(1a)上，其上端敞口，所述箱体(1a)配置有与所述检测室(10)相适应的顶盖(1b)，所述箱体(1a)上端面设有密封圈(14)，所述密封圈(14)位于检测室(10)的周向外侧。

8.根据权利要求7所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述箱体(1a)的至少一个对角线的两端均设有定位销(15)，所述定位销(15)竖直朝上设置，所述顶盖(1b)上具有与所述定位销(15)一一对应的定位销孔(16)。

9.根据权利要求7所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述箱体(1a)的四周对称设置有夹紧件(6)，所述夹紧件(6)用于将顶盖(1b)与箱体(1a)夹紧。

10.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述检测箱(1)配置有电控箱(7)，所述电控箱(7)包括PLC控制器及与该PLC控制器相连的触屏(70)，所述检测箱(1)上设有透明的观测窗(17)。