[发明专利]一种半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵及方法

权利要求书

1.一种半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：包括升压部、驱动部，升压部固定设置于驱动部的前侧；

所述驱动部包括前部组件(1)、后部组件(2)、缸体(3)，前部组件(1)、缸体(3)、后部组件(2)从前到后依次设置且进行机械密封；

所述后部组件(2)的顶部开设有进气孔(24)、出气孔(25)，后部组件(2)的内部设置有气缸组件；所述气缸组件包括气缸(18)、导气杆(19)，导气杆(19)插置于气缸(18)的内部；所述气缸(18)上开设有气孔A(22)，导气杆(19)上开设有气孔B(23)；所述后部组件(2)的前端面上开设有气孔C(26)；

所述缸体(3)的内部中心处横向设置有主轴(4)，主轴(4)上固定设置有活塞(5)；所述主轴(4)的前端向前穿过前部组件(1)中心处的通孔(6)后进入升压部的内部；

所述升压部包括升压组件(7)、升压缸体(8)、游动组件(9)，升压组件(7)设置于升压缸体(8)的前侧，升压缸体(8)通过连接套筒(10)与驱动部的前部组件(1)相连接；所述升压缸体(8)的上部、右部分别开设有出液孔(29)、进液孔(28)；所述游动组件(9)设置于升压缸体(8)的内部且游动组件(9)位于主轴(4)的前端上；所述升压组件(7)的左部、右部分别设置有进液组件、出液组件，出液组件的出液端口(27)通过出液管与升压缸体(8)上的进液孔(28)相连通。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：所述进气孔(24)的孔径大于气孔A(22)的孔径，气孔A(22)的孔径大于气孔B(23)的孔径。

3.根据权利要求2所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：所述进液组件由进液端口(30)、垫片(31)、防泄漏垫圈(32)、回止阀A(33)、销A(34)、齿轮垫圈A(35)、弹簧A(36)从左到右依次排列组成；所述出液组件由回止阀B(37)、销B(38)、齿轮垫圈B(39)、弹簧B(40)、出液端口(27)从左到右依次排列组成。

4.根据权利要求3所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：所述游动组件(9)包括齿轮螺丝(10)、筒体(11)，齿轮螺丝(10)、筒体(11)从前到后依次套置于主轴(4)上；所述齿轮螺丝(10)与筒体(11)之间从前到后依次设置有垫圈(12)、凸垫片(13)、O形环(15)、凹垫片(14)，垫圈(12)、凸垫片(13)、O形环(15)、凹垫片(14)均套置于主轴(4)上；

所述主轴(4)的前端开设有固定孔(16)，固定孔(16)内插置有销钉(17)，销钉(17)的头部弯折后与齿轮螺丝(10)的齿相卡合将游动组件(9)固定于主轴(4)的前端。

5.根据权利要求4所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：所述后部组件(2)与前部组件(1)上均开设有位置相对应的螺纹孔B(42)，螺纹孔B(42)内插置的螺杆B(43)将前部组件(1)与后部组件(2)固定连接在一起；所述前部组件(1)与升压组件(7)上均开设有位置相对应的螺纹孔A(44)，螺纹孔A(44)内插置的螺杆A(45)将升压组件(7)与前部组件(1)固定连接在一起。

6.根据权利要求5所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，其特征在于：所述连接套筒(10)的下部开设有排废孔(41)。

7.一种如权利要求2-6任一项所述的半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵的工作方法，其特征在于：所述工作方法的步骤为：

通过进气孔(24)向空气泵内通入低压气体，通过进液组件向空气泵内通入低压液体；低压气体从进气孔(24)进入后部组件(2)后进入气缸组件内进行两次加压；低压气体由进气孔(24)进入后部组件(2)后通过气孔A(22)进入气缸(18)内，与导气杆(19)相接触带动导气杆(19)旋转；由于进气孔(24)的孔径大于气孔A(22)的孔径，故低压气体从进气孔(24)进入气孔A(22)完成了第一次加压；经一次加压后的气体通过气孔B(23)进入导气杆(19)内部，由于气孔A(22)的孔径大于气孔B(23)，故经一次加压后的气体从气孔A(22)进入气孔B(23)完成了第二次加压，得到了高压气体；当导气杆(19)旋转使得气孔B(23)与气孔C(26)相连通时，高压气体从导气杆(19)内通过气孔C(26)流入缸体(3)内推动活塞(5)向前移动，活塞(5)移动带动主轴(4)向前移动，进而带动游动组件(9)在升压缸体(8)内向前移动；

低压液体从进液组件进入升压组件(7)后从出液组件的出液端口(27)流出，经出液管由进液孔(28)流入升压缸体(8)的内部；此时游动组件(9)在升压缸体(8)内向前移动对升压缸体(8)内的低压液体产生脉冲，对低压液体进行加压，得到了高压液体；升压缸体(8)内的高压液体从出液孔(29)喷出对半导体芯片进行高压喷淋清洗。