[发明专利]一种运动平台垂直度的检测工具及方法有效
| 申请号： | 201910719615.2 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110530295B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王军华;陈姝;张泰 | 申请（专利权）人： | 湖南国科智瞳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B5/245 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙高新开发区岳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 运动 平台 垂直 检测工具 方法 | ||
1.一种检测方法，用于通过显微图像采集装置(200)和检测工具辅助完成垂直度检测，其特征在于：
所述检测工具包括菲林尺(110)、玻璃板(120)、检测基板(130)；
所述检测基板(130)与片夹基板(260)安装尺寸一致，用于设置于XY运动平台(230)上；所述玻璃板(120)设置于所述检测基板(130)上，用于承载所述菲林尺(110)；
所述菲林尺(110)上设置有校验图形，所述校验图形用于标定所述XY运动平台(230)的安装误差；
所述检测方法包括以下步骤：
包括(1)检测Y方向垂直度；(2)检测X方向垂直度；
所述校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；所述4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；所述3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度；所述4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点；
所述检测Y方向垂直度包括以下步骤：
S11、调节所述XY运动平台(230)，直至将所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中心；
S12、调节所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向正向移动，找到所述第二基准点；
S13、在所述显微图像采集装置(200)的视野中查看所述第二基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台(230)将第二基准点调节至视野中心；
S14、调节所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向反向移动，直至所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中，并查看所述第一基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S11至S13步骤，直至所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向正反方向反复移动时，第一基准点和第二基准点皆位于所述XY运动平台(230)的视野中心。
2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述检测X方向垂直度包括以下步骤：
S21、调节所述XY运动平台(230)，直至将所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中心；
S22、调节所述XY运动平台(230)沿着所述X方向正向移动，找到所述第三基准点；
S23、在所述显微图像采集装置(200)的视野中查看所述第三基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台(230)将第三基准点调节至视野中心；
S24、调节所述XY运动平台(230)沿着所述X方向反向移动，直至所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中，并查看所述第二基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S21至S23步骤，直至所述XY运动平台(230)沿着所述X方向正反方向反复移动时，第二基准点和第三基准点皆位于所述XY运动平台(230)的视野中心。
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