[发明专利]使用反射几何的光学装置在审

专利信息
申请号: 201910710683.2 申请日: 2019-08-01
公开(公告)号: CN111487223A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 金震恩;安浩荣;金彦庭 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴晓兵
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 使用 反射 几何 光学 装置
【说明书】:

提供了一种使用反射几何的光学装置。该光学装置包括:透镜元件,设置成面向待测量对象;光源,产生穿过透镜元件以入射到对象上的入射光束;以及光电检测器,接收被对象散射的光。入射光束偏离透镜元件的光学中心轴倾斜地入射在对象上,而不穿过光学中心轴。散射光穿过聚焦透镜元件的光学中心轴及其周围区域而传输到光电检测器。

相关申请的交叉引用

本申请基于并且要求于2019年1月29日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2019-0011306的优先权,该申请的公开内容通过引用的方式整体并入本文中。

技术领域

根据本公开的装置涉及使用反射几何的光学装置。

背景技术

根据现有技术的大多数反射采集光学器件使用二向色镜。入射光通过从二向色镜以45°被反射而垂直照射到样本,并且从样本反射的光透射过二向色镜。然而,由于二向色镜通常以倾斜45°的方式布置,因此需要用于布置的空间并且光路延长。此外,当垂直照射到样本的入射光被反射出去时,使用用于去除不必要的反射光的许多截止滤波器。因此,关于二向色镜的使用,导致系统的尺寸增加,光路延长,并且制造成本增加。

发明内容

提供了有利于小型化和减轻重量的使用反射几何的光学装置(反射光学装置)。此外,提供了具有相对简单结构的反射光学装置,而不使用二向色镜。此外,提供了可以减小光路和降低制造成本的反射光学装置。

附加方面部分地将在接下来的描述中阐述,且部分地将通过该描述而变得清楚明白,或者可以通过对给出的实施例的实践来获知。

根据示例实施例的一方面,一种反射光学装置包括:透镜元件,被设置为面向待测量对象;光源,被配置为产生穿过所述透镜元件以入射到所述对象上的入射光束;以及光电检测器,被配置为接收被所述对象散射的光;其中,所述入射光束偏离所述透镜元件的光学中心轴倾斜地入射在所述对象上,而不穿过所述光学中心轴,并且其中,散射光穿过所述透镜元件的所述光学中心轴和所述光学中心轴周围的区域而传输到所述光电检测器。

所述入射光束的光线可以穿过所述透镜元件的第一区域入射到所述对象上,而不穿过所述透镜元件的所述光学中心轴,所述第一区域位于所述透镜元件的所述光学中心轴和边缘之间。

与所述透镜元件的所述光学中心轴相比,所述第一区域可以被设置为更靠近所述透镜元件的所述边缘。

所述入射光束的由所述对象直接反射的反射光可以偏离所述光学中心轴行进,而不穿过聚焦透镜元件的所述光学中心轴。

所述反射光学装置还可以包括设置在所述透镜元件和所述光电检测器之间的长通滤波器。

所述反射光学装置还可以包括设置在所述对象和所述透镜元件之间的导向构件,其中所述导向构件具有桶状。

所述导向构件可以包括孔径,所述孔径被配置为暴露所述对象的部分区域。

所述透镜元件可以包括:第一透镜,设置在所述透镜元件的中心处;以及第二透镜,围绕所述第一透镜设置,其中,所述第二透镜具有圆环形并且被配置为使所述入射光束聚焦在所述对象上。

所述透镜元件可以包括至少一个透镜单元,所述至少一个透镜单元在与所述透镜元件的所述光学中心轴垂直的方向上设置在所述透镜元件的周边,并且所述至少一个透镜单元可以具有球状,并且可以被配置为使所述入射光束聚焦在所述对象上。

所述入射光束可以是多个入射光束中通过所述透镜元件入射在所述对象上的入射光束。

所述多个入射光束可以具有相同的波长。

所述多个入射光束可以包括具有第一波长的第一入射光束和具有不同于所述第一波长的第二波长的第二入射光束。

所述光电检测器可以包括图像传感器或光谱传感器。

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