[发明专利]使用反射几何的光学装置在审

专利信息
申请号: 201910710683.2 申请日: 2019-08-01
公开(公告)号: CN111487223A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 金震恩;安浩荣;金彦庭 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴晓兵
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 使用 反射 几何 光学 装置
【权利要求书】:

1.一种反射光学装置,包括:

透镜元件,被设置为面向待测量对象;

光源,被配置为产生穿过所述透镜元件以入射到所述对象上的入射光束;以及

光电检测器,被配置为接收被所述对象散射的散射光;

其中,所述入射光束偏离所述透镜元件的光学中心轴倾斜地入射在所述对象上,而不穿过所述光学中心轴,并且

其中,所述散射光穿过所述透镜元件的所述光学中心轴和所述光学中心轴周围的区域而传输到所述光电检测器。

2.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述入射光束的光线穿过所述透镜元件的第一区域入射到所述对象上,而不穿过所述透镜元件的所述光学中心轴,所述第一区域位于所述透镜元件的所述光学中心轴和边缘之间。

3.根据权利要求2所述的反射光学装置,其中,与所述透镜元件的所述光学中心轴相比,所述第一区域更靠近所述透镜元件的所述边缘。

4.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述入射光束的由所述对象直接反射的反射光偏离所述光学中心轴行进,而不穿过所述透镜元件的所述光学中心轴。

5.根据权利要求1所述的反射光学装置,还包括设置在所述透镜元件和所述光电检测器之间的长通滤波器。

6.根据权利要求1所述的反射光学装置,还包括设置在所述对象和所述透镜元件之间的导向构件,

其中,所述导向构件具有桶状。

7.根据权利要求6所述的反射光学装置,其中,所述导向构件包括孔径,所述孔径被配置为暴露所述对象的部分区域。

8.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述透镜元件包括:

第一透镜,设置在所述透镜元件的中心处;以及

第二透镜,围绕所述第一透镜设置,

其中,所述第二透镜具有圆环形并且被配置为使所述入射光束聚焦在所述对象上。

9.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述透镜元件包括至少一个透镜单元,所述至少一个透镜单元在与所述透镜元件的所述光学中心轴垂直的方向上设置在所述透镜元件的周边处,并且

其中,所述至少一个透镜单元具有球状,并且被配置为使所述入射光束聚焦在所述对象上。

10.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述入射光束是多个入射光束中通过所述透镜元件入射在所述对象上的一个入射光束。

11.根据权利要求10所述的反射光学装置,其中,所述多个入射光束具有相同的波长。

12.根据权利要求10所述的反射光学装置,其中,所述多个入射光束包括具有第一波长的第一入射光束和具有不同于所述第一波长的第二波长的第二入射光束。

13.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述光电检测器包括图像传感器或光谱传感器。

14.根据权利要求1所述的反射光学装置,还包括设置在所述透镜元件和所述光电检测器之间的中继光学系统,

其中,所述中继光学系统包括第一中继透镜、第二中继透镜和具有针孔的针孔板,所述针孔板设置在所述第一中继透镜和所述第二中继透镜之间。

15.根据权利要求1所述的反射光学装置,还包括光纤耦合器,所述光纤耦合器被配置为将已经穿过所述透镜元件的散射光传输到所述光电检测器。

16.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述反射光学装置被配置为不包括二向色镜。

17.根据权利要求1所述的反射光学装置,其中,所述入射光束包括激光。

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