[发明专利]显示面板及其制造方法在审
申请号: | 201910675211.8 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN110865515A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 朴度昤;朴技援;金京镐 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅;张晓 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
提供了一种显示面板及其制造方法。所述显示面板包括:显示部,包括多条信号线和连接到信号线的多个像素;外围部,设置在显示部周围;集成电路(IC)安装单元,设置在外围部上,并且包括连接到数据驱动器的多个驱动器IC;以及测试垫部,设置在外围部上并且测试信号线。测试垫部包括栅极驱动器测试垫部和数据线测试垫部,栅极驱动器测试垫部包括栅极驱动器测试垫单元,数据线测试垫部包括数据线测试垫单元,数据线测试垫单元包括设置在数据线测试垫部的相应侧上的最外数据线测试垫单元以及设置在最外数据线测试垫单元之间的多个中间数据线测试垫单元。
本申请要求于2018年8月7日提交的第10-2018-0092064号韩国专利申请的优先权和权益,该韩国专利申请出于所有目的通过引用包含于此,如同在这里充分阐述一样。
技术领域
发明的示例性实施例总体上涉及一种显示面板及其制造方法,更具体地,涉及一种通过分割曝光(divided exposure)制造的显示面板及其制造方法。
背景技术
液晶显示器和有机发光装置通常被用作显示装置。
显示装置包括显示面板,显示面板包括多条信号线和连接到所述多条信号线的多个像素。显示面板可以包括堆叠在基底上的多个层。此外,显示面板包括用于将数据信号施加到像素电极的数据驱动器,并且数据驱动器包括驱动器集成电路(“IC”)。显示面板可以包括数据驱动器和用于测试信号线的多个测试垫(pad,或称为“焊盘”)。
显示面板包括顺序地堆叠在显示装置的基底上的多个薄膜层。
为了形成薄膜层,使用导电层沉积工艺、光致抗蚀剂(“PR”)涂覆工艺、通过使用掩模而使光致抗蚀剂选择性曝光和显影的光致抗蚀剂图案形成工艺以及用于通过使用光致抗蚀剂图案作为掩模来蚀刻导电层的光刻工艺。
随着显示面板的尺寸增大和显示面板的分辨率增大,当制造显示面板时,可用于曝光装置的掩模的尺寸受到限制。为了克服这个问题,当执行曝光工艺时,使用了通过利用单个掩模多次曝光宽基底来形成薄膜图案的分割曝光法。
关于分割曝光法,当在每个曝光工艺中在曝光块(shot)的边界上产生临界尺寸(“CD”)的叠置或差异时,可以在曝光块的边界上看到由屏幕的亮度的变化引起的缝合(stitch)缺陷。为了解决这个问题,两个曝光块之间具有预定宽度的曝光块叠置部被形成并且被双重曝光。同时,由于显示面板最近已经被开发成变得非常大并且具有高分辨率(即,“QUHD”),所以像素的数量增加并且数据驱动器IC的数量也增加,而基底的尺寸不与像素的数量的增加成比例地增加。因此,驱动器IC的尺寸减小并且其数量增加。因此,当执行分割曝光时,具有预定宽度的曝光块叠置部中的驱动器IC的数量可以增加,并且显示面板的各个端部处的叠置部中的图案可以改变。当曝光块叠置部移动到掩模的内侧时,可以避免叠置部之间的图案失配。在这种情况下,产生加工损耗,诸如由于曝光块的数量的增加而导致的制造时间和制造费用的增加,并且缝合线也增加。
在本背景技术部分中公开的上述信息仅用于理解发明构思的背景,因此,其可以包含不构成现有技术的信息。
发明内容
本发明的示例性实施例提供了一种显示面板及其制造方法,该显示面板用于解决在分割曝光工艺中由分辨率的提高而导致的与显示面板的相应侧对应的掩模叠置部上的图案的失配,并且减少了掩模的曝光块的数量。
发明构思的附加特征将在下面的描述中被阐述,并且部分地从描述中将是明显的,或者可以通过发明构思的实践而得知。
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