[发明专利]显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板，所述显示面板包括：

显示部，包括多条信号线和连接到所述多条信号线的多个像素；

外围部，设置在所述显示部的周围；

集成电路安装单元，设置在所述外围部上并且包括连接到数据驱动器的多个驱动器集成电路；以及

测试垫部，设置在所述外围部上并且被配置为测试所述多条信号线，

其中：

所述测试垫部包括栅极驱动器测试垫部和数据线测试垫部，所述栅极驱动器测试垫部包括栅极驱动器测试垫单元，所述数据线测试垫部包括数据线测试垫单元；

所述数据线测试垫单元包括：最外数据线测试垫单元，设置在所述数据线测试垫部的相应侧上；以及多个中间数据线测试垫单元，设置在所述最外数据线测试垫单元之间；

所述最外数据线测试垫单元和所述多个中间数据线测试垫单元中的每个包括多个数据线测试垫和多个虚设垫；并且

连接布线不连接到虚设垫。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其中，虚设垫的一部分设置在与包括在中间数据线测试垫单元中的数据线测试垫的一部分对应的位置处。

3.根据权利要求1所述的显示面板，其中，虚设垫设置在中间数据线测试垫单元中的数据线测试垫的相应侧上。

4.根据权利要求3所述的显示面板，

其中，虚设垫设置在最外数据线测试垫单元之中的左最外数据线测试垫单元中的数据线测试垫的左侧上，并且

其中，虚设垫设置在最外数据线测试垫单元之中的右最外数据线测试垫单元中的数据线测试垫的右侧上。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其中，虚设垫的数量等于或小于数据线测试垫的数量。

6.根据权利要求1所述的显示面板，其中，最外数据线测试垫单元的虚设垫的数量等于或小于中间数据线测试垫单元的虚设垫的数量。

7.一种用于制造显示面板的方法，所述方法包括：

在显示部上形成多条信号线和连接到所述多条信号线的多个像素；

形成用于测试信号线的测试垫；

形成用于连接信号线和测试垫的连接布线；以及

形成虚设垫，连接布线不连接到虚设垫，

其中：

所述多条信号线、所述像素、所述测试垫或所述连接布线使用分割曝光法通过光刻工艺形成，所述分割曝光法用于分割成多个曝光块并使用同一掩模使所述多个曝光块曝光；

所述分割曝光法包括：使曝光块曝光以执行初始曝光阶段；放置中间曝光块使得存在所述初始曝光阶段的所述曝光块的一部分在其处叠置的叠置部，并且使所述中间曝光块曝光，从而执行中间曝光阶段；放置最终曝光块，使得可以存在所述中间曝光阶段的所述中间曝光块的一部分在其处叠置的叠置部；以及使所述最终曝光块曝光，从而执行最终曝光阶段；并且

叠置部的图案彼此对应。

8.根据权利要求7所述的方法，

其中，所述掩模包括左叠置部和右叠置部，并且

其中，所述中间曝光阶段的所述中间曝光块的左叠置部和右叠置部形成光束使其双重曝光的双重曝光单元。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述叠置部的宽度为50mm至150mm。

10.根据权利要求8所述的方法，其中：

在所述初始曝光阶段中，所述掩模被曝光直到所述右叠置部；

在所述中间曝光阶段中，所述掩模被从所述掩模的所述左叠置部曝光直到所述右叠置部；以及

在所述最终曝光阶段中，所述掩模从所述掩模的所述左叠置部被曝光。