[发明专利]压电驱动装置、机器人以及打印机

说明书

一种压电驱动装置、机器人以及打印机，能够进行稳定驱动。压电驱动装置通过使振动体振动而使凸部的末端进行描绘椭圆轨道的旋转运动来对被驱动构件进行驱动，振动体具备基板、使基板振动的驱动用压电元件、检测基板的振动的检测用压电元件，驱动用压电元件具备使振动体沿第一方向伸缩振动的第一驱动用压电元件及使振动体沿与第一方向正交的第二方向弯曲振动的第二驱动用压电元件，检测用压电元件配置为与第一驱动用压电元件在第一方向上并排，并具备基于从检测用压电元件输出的信号来控制对第一驱动用压电元件施加的电压的大小的电压控制部，电压控制部以使凸部的第一方向上的振幅的偏差变小的方式控制对第一驱动用压电元件施加的电压的大小。

技术领域

本发明涉及压电驱动装置、机器人以及打印机。

背景技术

专利文献1所记载的超声波致动器具有振动器、向振动器施加交流电压的电力输入装置、配置在振动器与电力输入装置之间的可变电阻、在振动器的振动下移动的相对运动构件以及将振动器向相对运动构件按压的加压构件。另外，振动器具备具有配置成2×2的矩阵状的四个振动区域的压电元件、以及与相对运动构件抵接的滑动构件。然后，通过从电力输入装置向位于一对角线上的两个振动区域与位于另一对角线上的两个振动区域施加相位错开2/π的交流电压，滑动构件进行椭圆振动，配合该椭圆振动并使相对运动构件相对于振动器移动。另外，在专利文献1的超声波致动器中，通过使可变电阻的电阻值变化，使向压电元件施加的交流电压的大小变化，由此能够使滑动构件的椭圆运动的形状自由变化。

专利文献1：日本特开2000-295876号公报

然而，在专利文献1的超声波致动器中，由于通过加压构件将振动器向相对运动构件按压，因此仅使可变电阻的电阻值变化，无法高精度地控制滑动构件的椭圆运动的形状。

发明内容

本发明的压电驱动装置具备振动体以及与所述振动体连接的凸部，通过使所述振动体振动并使所述凸部的末端进行描绘椭圆轨道的旋转运动来对与所述凸部抵接的被驱动构件进行驱动，其特征在于，

所述振动体具备基板、使所述基板振动的驱动用压电元件、以及检测所述基板的振动的检测用压电元件，

所述驱动用压电元件具备使所述振动体沿所述振动体与所述凸部并排的第一方向伸缩振动的第一驱动用压电元件、以及使所述振动体在所述基板的俯视下沿与所述第一方向正交的第二方向弯曲振动的第二驱动用压电元件，

所述检测用压电元件配置为与所述第一驱动用压电元件在所述第一方向上并排，

所述检测用压电元件具备基于从所述检测用压电元件输出的信号而控制对所述第一驱动用压电元件施加的电压的大小的电压控制部，

与不控制对所述第一驱动用压电元件施加的电压的大小的情况相比，所述电压控制部以使所述凸部的所述第一方向上的振幅的偏差变小的方式控制对所述第一驱动用压电元件施加的电压的大小。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的压电马达的俯视图。

图2是表示压电致动器的俯视图。

图3是图2中的A-A线剖视图。

图4是图2中的B-B线剖视图。

图5是图2中的C-C线剖视图。

图6是图2中的D-D线剖视图。

图7是表示对图2所示的压电致动器施加的交变电压的图。

图8是表示图1所示的压电马达的驱动状态的俯视图。

图9是表示图1所示的压电马达的驱动状态的俯视图。

图10是图1中的E-E线剖视图。

图11是表示施力构件的俯视图。