[发明专利]电镀孔铜装置

权利要求书

1.一种电镀孔铜装置，包括电镀槽及设置于所述电镀槽内的阳极和阴极，其特征在于，还包括，

喷液管，设置于所述阳极和阴极之间，且位于所述电镀槽内，所述喷液管的延伸方向与所述阴极的延伸方向一致且两者相对设置，沿所述喷液管的延伸方向上，在所述喷液管上间隔设置若干喷嘴，以朝向所述阴极表面喷射电镀液；

遮板，设置于所述喷液管和阴极之间，且位于所述电镀槽内，所述遮板与所述喷液管存在重叠区域，位于所述重叠区域的所述遮板的板面上设置开窗区，所述开窗区与位于所述重叠区域的所述喷液管上的喷嘴相对应，以使所述喷嘴喷射的电镀液经所述开窗区喷射于所述阴极表面；

其中，沿所述喷液管的延伸方向上，所述遮板依次包括第一遮挡区、非遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区和第二遮挡区位于所述重叠区域，所述第一遮挡区靠近所述阳极的一端，所述第二遮挡区靠近所述阳极的相对端。

2.根据权利要求1所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管的一端为进液端，相对端为封闭端，沿所述进液端至所述封闭端的方向上，相邻喷嘴间的间距变小。

3.根据权利要求1所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管的一端为进液端，相对端为封闭端，沿所述进液端至所述封闭端的方向上，前一个喷嘴的开口面积大于后一个喷嘴的开口面积。

4.根据权利要求1所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管上所有喷嘴的开口面积之和不大于所述喷液管的横截面积。

5.根据权利要求1-4 中任一项所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述开窗区分别开设于所述第一遮挡区和所述第二遮挡区，所述开窗区为凹槽或开孔。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管靠近所述阳极且远离所述阴极设置；

所述阳极靠近所述电镀槽的内壁设置，所述阴极靠近所述电镀槽的中轴线设置。

7.根据权利要求2或3所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管的进液端靠近所述电镀槽的槽底设置，所述喷液管的封闭端靠近所述电镀槽的槽顶设置；

所述喷液管的进液端外连进液管。

8.根据权利要求7所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述阳极、喷液管、遮板和阴极均垂直于所述电镀槽的槽底设置；

所述进液管与所述喷液管垂直设置。

9.根据权利要求7所述的电镀孔铜装置，其特征在于，所述喷液管为两个，分别为第一喷液管和第二喷液管；

所述阳极为两个，分别为第一阳极和第二阳极；

所述遮板为两个，分别为第一遮板和第二遮板；

所述第一喷液管设置于所述第一阳极与第一遮板之间，所述第二喷液管设置于所述第二阳极与第二遮板之间，所述阴极设置于所述第一遮板与第二遮板之间，以对所述阴极进行双面镀铜。