[发明专利]一种具有调节功能的芯片拾取系统有效

专利信息
申请号: 201910665403.0 申请日: 2019-07-23
公开(公告)号: CN110349896B 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 王树东 申请(专利权)人: 深圳市律远汇智科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 调节 功能 芯片 拾取 系统
【说明书】:

发明涉及一种具有调节功能的芯片拾取系统,包括芯片拾取装置,所述芯片拾取机包括顶板、拾取机构、保持带、顶起机构、调节机构和两个支架,所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸、连接块、拾取盒、盒盖和转动组件,所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件包括第一电机、齿轮、齿条和限位单元,所述固定组件包括第四电机、丝杆、移动条、固定板和压块,该具有调节功能的芯片拾取系统,通过拾取机构拾拾取芯片,可防止芯片在拾取过程中受损或沾染灰尘,不仅如此,通过调节机构固定保持带并调节保持带的松紧度,提高了实用性。

技术领域

本发明涉及芯片拾取设备领域,特别涉及一种具有调节功能的芯片拾取系统。

背景技术

半导体芯片是由不同尺寸的晶片被切断成所定大小得到的,为了防止被切断的半导体芯片变得零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面切断晶片,此时,粘接在背面的保持带虽然被切入一部分,但没有被切断,以此保持各半导体芯片的状态,接着,芯片拾取机从保持带上拾取被切断的各半导体芯片,拾取过程中,芯片首先从晶圆上被顶起,随后通过吸嘴吸附芯片表面,实现剥离并转移。

现有芯片拾取机在用吸嘴吸附芯片时,需要严格控制吸嘴的吸力,以防芯片在拾取过程中掉落或损坏,比较麻烦,而且在此过程中,芯片容易沾染灰尘,不仅如此,现有的芯片拾取机在拾取芯片前,需要先固定好保持带,此时保持带应该被尽量拉平,以防芯片集中到一处,但在拾取过程中,保持带又不能太紧,否则顶针难以顶起芯片,而现有的芯片拾取机难以调整保持带的松紧度,降低了实用性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种具有调节功能的芯片拾取系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有调节功能的芯片拾取系统,包括芯片拾取装置,所述芯片拾取装置包括顶板、拾取机构、保持带、顶起机构、调节机构和两个支架,两个支架分别固定在顶板的下方的两侧,所述调节机构和保持带均设置在两个支架之间,所述拾取机构位于顶板的下方,所述顶起机构位于保持带的下方,两个支架中,其中一个支架上设有操作面板,所述操作面板内设有天线和PLC;

所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸、连接块、拾取盒、盒盖和转动组件,所述滑动组件设置在顶板的下方,所述滑动组件与第一气缸的缸体连接,所述第一气缸向下设置,所述第一气缸的气杆与连接块固定连接,所述拾取盒固定在连接块的下方,所述盒盖与拾取盒的一侧的上方铰接,所述拾取盒的靠近盒盖的一侧设有开口,所述转动组件设置在盒盖的上方,所述第一气缸与PLC电连接;

所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件与两个支架中的其中一个支架连接,两个固定组件分别与平移组件和另一个支架连接,所述平移组件包括第一电机、齿轮、齿条和限位单元,所述第一电机固定在支架上,所述第一电机与齿轮传动连接,所述齿条位于齿轮的上方,所述齿轮与齿条啮合,所述限位单元设置在平移组件的上方,所述第一电机与PLC电连接。

作为优选,为了带动第一气缸平移,所述滑动组件包括滑轨、滚轮、第二电机和滑动单元,所述滑轨固定在顶板的下方,所述滚轮与滑轨滑动连接,所述第二电机与滚轮传动连接,所述滑动单元位于第二电机的远离滚轮的一侧,所述滑动单元与第一气缸的缸体连接。

作为优选,为了限制第二电机的移动方向,所述滑动单元包括滑环和滑杆,所述滑杆的两端分别固定在两个支架上,所述滑环套设在滑杆上,所述第一气缸的缸体固定在滑环的下方,所述滑环与第二电机固定连接。

作为优选,为了驱动盒盖开启或关闭,所述转动组件包括第三电机、转杆和连杆,所述第三电机固定在连接块的靠近盒盖的一侧,所述第三电机与转杆的一端传动连接,所述转杆的另一端通过连杆与盒盖铰接,所述第三电机与PLC电连接。

作为优选,为了限制齿条移动的方向和距离,所述限位单元包括限位杆、套管和限位板,所述限位板通过限位杆固定在支架上,所述限位杆与齿条平行设置,所述套管套设在限位杆上,所述套管与靠近移动组件的固定组件连接。

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