[发明专利]载板的去除方法

权利要求书

1.一种载板的去除方法，从借助临时粘接层而设置在载板的正面上的工件去除该载板，其特征在于，

该载板的去除方法具有如下的步骤：

第1保持步骤，利用第1保持构件对该载板进行保持而使该工件露出；

阶梯差部形成步骤，在实施了该第1保持步骤之后，从该工件侧沿着该载板的外周缘对该载板进行加工，在该载板的外周缘形成背面侧比正面侧向外突出的阶梯差部；

第2保持步骤，在实施了该阶梯差部形成步骤之后，利用第2保持构件对该工件进行保持而使该载板露出；以及

载板去除步骤，在实施了该第2保持步骤之后，利用去除构件对该阶梯差部施加力而使该载板向远离该工件的方向移动，从而将该载板从该工件去除。

2.根据权利要求1所述的载板的去除方法，其特征在于，

在该载板去除步骤中，一边利用去除构件对该阶梯差部施加力一边向该工件与该载板之间吹送流体。