[发明专利]喷淋装置

说明书

本发明提供一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其包括上机架、连接架、偏心轮和马达。所述偏心轮包括中心孔、多个偏心孔和连杆；所述中心孔与所述偏心轮固定连接；所述偏心孔设置于所述偏心轮上；所述连杆固定安装于所述偏心孔，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述马达带动所述偏心轮转动，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。本发明通过带动喷淋机架进行往复运动喷淋，可实现喷淋机架进行30°‑60°不同幅度的摆动，可有效避免因个别喷嘴堵塞造成对基板喷淋不均匀现象，从而保证基板喷淋均匀，减少喷淋偏差，使得基板喷淋均匀，提高生产效率和产品质量。

技术领域

本发明涉及微电子加工设备技术领域，尤其涉及一种用在液晶显示器生产过程中的喷淋装置。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代阴极射线管(Cathode Ray Tube，CRT)显示器。

LCD显示器件是由一片薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor ArraySubstrate，TFT Array Substrate)与一片彩色滤光片(Color Filter，CF)基板贴合而成，且在TFT基板与CF基板之间灌入液晶，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。

在TFT-LCD制造工艺中，ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)凭借其自身优良的特性，被广泛用于制作透明显示电极。在ITO透明显示电极制作过程中，首先通过磁控溅射形成ITO薄膜，再经过光刻形成光刻胶图形，最后通过湿法刻蚀将ITO薄膜图案化，形成最终的透明显示电极。

如图1所示，为现有技术用于ITO薄膜喷涂蚀刻的流程图。请参照图1，表面覆盖ITO薄膜的基板由入口单元(IN CV)进入，在清洗腔(EUV)中去除表面的有机物，而后进入刻蚀腔(ETCH)。在刻蚀腔中，通过刻蚀液将基板上不需要保留的ITO薄膜(即未被光刻胶图形覆盖的ITO薄膜)去除。而后基板被送出，经由水洗单元(SWR)进行清洗，去除基板表面残留的刻蚀液，最后经干燥并由传送单元(NT)和出口单元(OUT CV)被传送出喷淋装置。

但是，在清洗腔(EUV)、刻蚀腔(ETCH)和水洗单元(SWR)均使用固定安装的喷淋装置对基板进行喷淋，由于在清洗腔(EUV)和水洗单元(SWR)会冲洗除去杂质，在刻蚀腔(ETCH)会产生蚀刻液结晶，因此喷淋装置上的喷嘴在生产过程中会产生堵塞，或者其他原因导致喷洒偏差，从而基板喷淋不均匀，最终造成产品不良。

发明内容

鉴于上述技术问题，本发明提供了一种喷淋装置，通过带动喷淋机架进行往复运动喷淋，从而保证基板喷淋均匀，减少喷淋偏差，使得基板喷淋均匀，提高生产效率和产品质量。

为了解决上述问题，本发明提供一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其包括上机架、连接架、偏心轮和马达。具体地，所述上机架可活动安装于所述喷淋室顶部；所述上机架的下方均匀排布多个喷嘴；所述连接架设于所述上机架的一侧，通过一摇杆与所述偏心轮可转动连接；所述马达带动所述偏心轮转动；其中，所述偏心轮包括中心孔、多个偏心孔和连杆；所述中心孔与所述偏心轮固定连接；所述偏心孔设置于所述偏心轮上；所述连杆固定安装于所述偏心孔上，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。

进一步的，其中所述偏心轮和所述马达之间还包括齿轮箱，所述齿轮箱的一端通过第一齿轮与所述偏心轮的中心轴可转动连接，其另一端通过第二齿轮与所述马达可转动连接。