[发明专利]喷淋装置有效
| 申请号: | 201910649317.0 | 申请日: | 2019-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN110404852B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
| 发明(设计)人: | 陈建锋 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 喷淋 装置 | ||
1.一种喷淋装置,能够用于液晶显示器的生产过程,设置于喷淋室内,其特征在于,所述喷淋装置包括上机架、下机架、连接架、偏心轮和马达;
所述上机架可活动安装于所述喷淋室顶部;所述上机架的下方均匀排布多个喷嘴;
所述下机架的上表面均匀排布多个喷嘴;所述下机架与所述上机架固定连接;所述下机架与所述上机架同步往复运动,对位于两者之间的基板进行喷淋;所述喷嘴喷射纯水或蚀刻液;
所述连接架设于所述上机架的一侧,通过一摇杆与所述偏心轮可转动连接;
所述上机架还包括:
至少一辊轮,可实现所述上机架相对于所述喷淋室顶部在往复运动方向上滑动;所述辊轮位于所述上机架的下表面,且分布在往复运动方向上的所述上机架的两侧;或者所述辊轮位于所述上机架的上表面,且分布在往复运动方向上的所述上机架的中心位置,所述辊轮可滑动安装于所述喷淋室顶部;以及
铰接杆,其一端可转动设置于所述上机架的上表面,其另一端可转动设置于所述喷淋室顶部,可实现所述上机架相对于所述喷淋室顶部往复运动;或者所述铰接杆可转动设置于所述上机架上表面的中心线处,所述中心线平行于往复运动的方向;
所述马达带动所述偏心轮转动;
其中,所述偏心轮包括:
中心孔,设置于所述偏心轮的中心,所述中心轴贯穿中心孔与所述偏心轮固定连接;
多个偏心孔,设置于所述偏心轮上;以及
连杆,固定安装于所述偏心孔上,所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接,所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。
2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,
所述偏心轮和所述马达之间还包括:
齿轮箱,其一端通过第一齿轮与所述偏心轮的中心轴可转动连接,其另一端通过第二齿轮与所述马达可转动连接。
3.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述上机架还包括:
多个导管,所述导管的一端与所述喷嘴的进液口一一对应连接;以及
汇总导管,所述多个导管的另一端均连接于汇总导管。
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