[发明专利]图像传感器及其制造方法以及成像装置在审

专利信息
申请号: 201910648994.0 申请日: 2019-07-18
公开(公告)号: CN110335880A 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 方欣欣;夏春秋;北村阳介;方明旭 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 张荣海
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 隔离结构 图像传感器 成像装置 辐射反射 辐射能量 相邻像素 外部 入射 像素 制造 辐射 配置
【权利要求书】:

1.一种图像传感器,其特征在于,包括:

像素;以及

位于相邻像素之间的隔离结构,所述隔离结构被配置成将从所述隔离结构的外部入射到所述隔离结构的辐射中的超过50%的辐射能量的辐射反射到所述隔离结构的外部。

2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,

所述隔离结构包括被配置成对所述辐射进行反射的反射部。

3.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,

所述隔离结构还包括覆盖所述反射部的侧面和上表面的保护层。

4.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,

所述反射部的表面由以下中的至少一个形成:金属、无机盐、微米或纳米多孔结构、以及有机材料。

5.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,

所述反射部的表面由金属形成,所述金属包括以下金属中的一个或由以下金属中的至少两个组成的合金:铝、银、铜、金、铁、钼、镍、铬、锡、以及铑。

6.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,

所述反射部的内部包含与所述反射部的表面的材料不同的材料。

7.根据权利要求6所述的图像传感器,其特征在于,

所述反射部的内部包含钨。

8.根据权利要求6所述的图像传感器,其特征在于,

所述反射部的内部包含电介质材料。

9.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,

所述保护层包含电介质材料。

10.根据权利要求8或9所述的图像传感器,其特征在于,

所述电介质材料包含以下材料中的一个或多个:正硅酸乙酯、氧化硅以及氮化硅。

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