[发明专利]一种晶圆缺陷检测装置及其检测方法

说明书

本发明属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱与晶圆本体，所述伸缩杆输出轴侧表面架设有驱动电机，所述伸缩杆的输出轴上套接有转盘，所述晶圆本体放置在转盘的上表面，所述辅助架的底面固定有X光测量头，所述X光测量头的一侧位于辅助架的底面设架设有摄像头，所述辅助架的两侧位于密封箱的内表面架设有补光板；X光测量头对晶圆本体的内部进行裂纹检测，补光板与第二补光灯给予不同角度的光照，便于灰尘暴露在拍摄图像中，密封箱、密封门、密封盖板对设备进行光线隔离，避免外界的光线对摄像头的拍摄造成干扰，提升数据的准确性。

技术领域

本发明属于晶圆检测设备技术领域，具体涉及一种晶圆缺陷检测装置及其检测方法。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆在加工完成之后需要使用检测设备对其进行缺陷检测，以便挑出不合格的晶圆，目前的检测装置使用过程中采用逐行扫描检测，一个晶圆在检测时需要耗费大量的时间进行扫描，设备生产效率较慢，再就是目前检测设备拍摄晶圆时会受到外界光线变化干扰，导致检测效果不理想，针对目前的检测设备使用过程中所暴露的问题，有必要对检测设备进行结构上的优化与改进。

发明内容

为解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置及其检测方法，具有有效的提升设备的检测效率、提升检测效果的特点。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱与晶圆本体，所述密封箱内部架设有传动带，所述传动带的两端贯穿密封箱的侧壁到达密封箱的外部，所述密封箱的两侧表面通过螺栓固定有密封盖板，所述密封箱的内底面通过螺栓固定有伸缩杆，所述伸缩杆输出轴侧表面架设有驱动电机，所述伸缩杆的输出轴上套接有转盘，所述晶圆本体放置在转盘的上表面，所述晶圆本体的上方位于密封箱的内壁架设有辅助架，所述辅助架的底面固定有X光测量头，所述X光测量头的一侧位于辅助架的底面设架设有摄像头，所述辅助架的两侧位于密封箱的内表面架设有补光板。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述密封盖板为空心构件，密封盖板由两个U型构件相互嵌合拼接构成。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述密封箱为空心的长方体构件，所述密封箱的一侧表面通过转轴固定有密封门。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述转盘的下端侧表面开设有齿轮轮齿，所述驱动电机的输出轴上套接有齿轮盘，所述驱动电机通过齿轮盘与转盘保持啮合连接。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述辅助架为长方体构件，所述摄像头均匀的架设在辅助架的下端，两个所述摄像头之间位于辅助架的底面架设有第二补光灯。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述补光板设有两条，所述补光板以倾斜的角度固定在密封箱的内壁，两个所述补光板以辅助架为对称轴对称。

作为本发明的一种晶圆缺陷检测装置优选技术方案，所述传动带设有两条，两条所述传动带对称架设在伸缩杆的两侧。

本发明还提供如下技术方案：一种晶圆缺陷检测方法，包括步骤一：晶圆本体放置在传动带上表面，传动带运行过程中对晶圆本体进行输送，使得晶圆本体的圆心与转盘的圆心保持在同一直线上；

步骤二：伸缩杆运行并伸长使得其伸缩端抬升，使得晶圆本体与传动带分离，伸缩杆运行时通过输出轴的转动来带动转盘转动，转盘转动时带动晶圆本体以相同的角速度旋转；

步骤三：晶圆本体转动第一圈时，摄像头与第二补光灯运行，第二补光灯对晶圆本体进行垂直打光，摄像头对晶圆本体进行拍摄，并将拍摄的图像传输到计算机内部，通过计算机对图像进行比对，以确定晶圆本体的上表面是否存在划伤、灰尘；