[发明专利]电磁感应式位置传感器的传感器基板及其制造方法

说明书

电磁感应式位置传感器的传感器基板及其制造方法，传感器基板包括多层基板以及形成于基板上的多个线圈，上侧线圈包括第一子线圈以及第二子线圈，第一子线圈包括在基板中彼此串联连接的多个导体图案(21、11、22、12)，第二子线圈包括在基板中彼此串联连接的多个导体图案(23、13、24、14)，并且在任一偶数层中，属于第一子线圈的导体图案(21、11、22、12)与属于第二子线圈的导体图案(23、13、24、14)在平面方向上交替排列，第一子线圈的一端与接地(41)的一个端子连接，而第二子线圈的一端与接地(41)的在水平方向上与上述一个端子分离的另一个端子连接。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年7月10日提交的申请号为2018-130949的日本专利申请的优先权，其全部内容(包括说明书、权利要求书、附图以及摘要)通过引用结合在本申请中。

技术领域

本发明涉及传感器基板，特别涉及用于电磁感应式位置传感器的传感器基板，其中，在基板形成有多个线圈，多个线圈接收交流磁通量并且输出振幅发生变化的相位彼此不同的电磁感应电压。

背景技术

常规地，如在JP2006-17533A中所公开的一种电磁感应式位置传感器，已知通过电磁感应作用检测线性旋转或者相对位移的构件的位置的电磁感应式位置传感器。这种位置传感器包括交流磁通量生成装置以及传感器部，交流磁通量生成装置结合位置检测目标的移动而生成交流磁通量，传感器部接收交流磁通量并且输出感应电压。该传感器部是通过在基板上印制构成多个线圈的导体图案而构成的传感器基板。这种位置传感器具有优秀的耐水、耐油等耐环境性，能够以高精度进行位置检测。另外，构成线圈的导体图案能够利用印制板制造技术等制成，并且能够用现有的设施轻松地制造出来。另外，当上述传感器部是其上印制有导体图案的传感器基板时，因为除传感器部以外的诸如放大电路等能够被安装在该传感器基板上，所以存在以下优点：弱的位置传感信号能够被放大为不易受由接线等引起的外来噪声的影响。

然而，当利用印制板制造技术制造如JP2006-17533A中的电磁感应式位置传感器的传感器部的线圈时，由于有缺陷的刻蚀等，有时会在属于同一线圈并且在平面方向上相邻的两个导体图案之间发生短路故障。即使没有短路故障，上述属于同一线圈并且在平面方向上相邻的两个导体图案也会电导通。因此，利用只对在任意端子之间的短路以及开路进行检查的用于印制电路板的一般检查设备，难以识别上述短路故障。因此，需要利用在同一线圈的两端都测量电阻值以及电感的检查设备进行检查。然而，当图案间的电阻值非常小的部分发生短路时，或者当短路电阻值大时，难以通过测量同一线圈的两端的电阻值以及电感而识别缺陷产品。如果在同一线圈的两端的电阻值以及电感的测量中发生上述不能被识别的短路故障，则在电路元件被安装到传感器的印制电路板后的操作检查中，或者在组装为传感器单元后的最终检查中，会发现故障。上述故障的发生会导致比传感器的印制板的单价更大的损失，而且，难以证实是印制板侧的故障，因此也难以向印制板制造商反馈。因此，假如上述由印制板制造导致的短路故障大量发生，那么检查导致电磁感应式位置传感器带来的风险大于故障造成的损失。

因此，本说明书公开一种用于电磁感应式位置传感器的传感器基板及其制造方法，该传感器基板能够容易地识别导体图案的短路故障。

发明内容

本说明书公开的传感器基板是一种用于电磁感应式位置传感器的传感器基板，包括：基板，其具有偶数层，在层间层压有绝缘材料；以及多个线圈，其形成于上述基板上，接收交流磁通量并且输出振幅发生变化的相位彼此不同的电磁感应电压，其中，每个上述线圈包括：第一子线圈，其在每个偶数层中形成为一个或多个，并且包括在上述基板中彼此串联连接的多个导体图案；以及第二子线圈，其在每个偶数层中形成为一个或多个，并且包括在上述基板中彼此串联连接的多个导体图案，在任一偶数层中，属于第一子线圈的导体图案与属于第二子线圈的导体图案在平面方向上交替排列，第一子线圈的一端与第一端子连接，第二子线圈的一端与第一端子在平面方向上分离，并且与第二端子连接，第二端子与第一端子形成在同一层上。