[发明专利]掩膜结构和FCVA设备

权利要求书

1.一种掩膜结构，用于在静电卡盘的承载面上制造凸点，其特征在于，所述掩膜结构包括均采用导电金属制作的主掩膜板和侧掩膜板，其中，

所述主掩膜板用于在所述静电卡盘的承载面上形成对应所述凸点的图形化膜层；

所述侧掩膜板用于完全遮挡所述静电卡盘的侧面，以避免在所述侧面上形成膜层；

所述掩膜结构还包括浮动锁紧组件，所述浮动锁紧组件用于通过向所述主掩膜板施加朝向所述静电卡盘的承载面的单向弹力，来将所述主掩膜板固定在所述承载面上；

对应地分别在所述主掩膜板与所述静电卡盘的主体部分设置有中心通孔；

所述掩膜结构还包括中心紧固螺栓，所述中心紧固螺栓安装在所述中心通孔中，以将所述主掩膜板紧固在所述静电卡盘的主体部分上。

2.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述侧掩膜板用于环绕设置在所述静电卡盘的主体部分的侧面，且完全包覆所述静电卡盘自所述主体部分的侧面凸出的边缘部分。

3.根据权利要求2所述的掩膜结构，其特征在于，所述侧掩膜板包括第一分体、第二分体和连接螺钉，其中，

所述第一分体设置在所述静电卡盘的边缘部分的正面一侧；所述第二分体设置在所述静电卡盘的边缘部分的背面一侧；并且，在所述第一分体和/或第二分体上形成有环绕在所述静电卡盘的边缘部分的侧面的外延部，所述外延部用于将所述第一分体和第二分体电导通；

所述连接螺钉用于将所述第一分体、所述第二分体与所述静电卡盘的边缘部分固定连接。

4.根据权利要求3所述的掩膜结构，其特征在于，在所述第一分体与所述静电卡盘的边缘部分之间，和/或在所述第二分体与所述静电卡盘的边缘部分之间设置有缓冲件。

5.根据权利要求4所述的掩膜结构，其特征在于，所述缓冲件包括密封圈或者缓冲垫片。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的掩膜结构，其特征在于，所述掩膜结构还包括环形遮挡板，所述环形遮挡板设置在所述侧掩膜板的正面，且所述环形遮挡板的内侧边缘延伸至所述主掩膜板的边缘内侧。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的掩膜结构，其特征在于，在所述侧掩膜板的内侧面上设置有贯通至所述侧掩膜板的正面的环形凹部，所述主掩膜板的边缘部分位于所述环形凹部中。

8.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述掩膜结构还包括导电结构，所述导电结构用于将所述主掩膜板和侧掩膜板电导通。

9.根据权利要求8所述的掩膜结构，其特征在于，所述导电结构包括导电弹性件，所述导电弹性件分别与所述主掩膜板和侧掩膜板电连接。

10.根据权利要求9所述的掩膜结构，其特征在于，所述导电弹性件为导电簧片或者导线。

11.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述浮动锁紧组件包括锁紧螺母、螺钉和弹性件，其中，

所述锁紧螺母包括螺母柱体和设置在所述螺母柱体的第一端的环形凸缘，所述环形凸缘自所述螺母柱体的外周面凸出；并且，在所述螺母柱体中，且位于其第二端的端面设置有螺纹孔；

在所述主掩膜板中设置有沿其厚度贯穿的第一通孔，且对应地在所述静电卡盘的主体部分中设置有沿其厚度贯穿的第二通孔，所述螺母柱体位于所述第一通孔和第二通孔中，所述环形凸缘叠置在所述主掩膜板的正面；

所述螺钉通过所述第二通孔与所述螺纹孔相配合，所述螺钉的头部位于所述静电卡盘的主体部分的背面一侧；

所述弹性件设置在所述螺钉的头部与所述静电卡盘的主体部分的背面之间。

12.根据权利要求11所述的掩膜结构，其特征在于，所述弹性件包括弹性片或者压缩弹簧。