[发明专利]显示面板及其制备方法有效
申请号: | 201910603357.1 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN110429106B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 刘婉婷;郑颖 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
一种显示面板及其制备方法,包括:提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上定义出弯折区域,在弯折区域内形成图案化的有机光阻;对玻璃基板无图案化的有机光阻覆盖的部分进行刻蚀,在所述弯折区域内形成凸起;去除图案化的有机光阻;在图案化的所述玻璃基板上形成第一聚酰亚胺薄膜,其中,所述第一聚酰亚胺薄膜在弯折区域内的膜层厚度小于其他区域的膜层厚度。将玻璃基板进行图案化处理,能够达到减薄弯折区域内的聚酰亚胺膜层厚度的效果,进而减小金属走线所受的应力,避免金属走线断裂的风险。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
随着科技的不断进步,柔性显示成为大势所趋,柔性显示最重要的部分就是柔性基板,而聚酰亚胺材料由于其具有优异的热学性能、机械性能以及稳定性,被用作柔性基板,广泛地应用于柔性有机发光二极管的制备。
然而,在聚酰亚胺基板上制备薄膜晶体管后,由于聚酰亚胺基板的膜厚较厚,且与其上方的金属走线距离较远,弯折区域的中性层偏向聚酰亚胺基板,导致金属层所受应力较大,从而造成金属断线或出现裂纹现象。
发明内容
本发明提供一种显示面板及其制备方法,以解决现有的显示面板,由于聚酰亚胺基板的膜层厚度较厚,且与其上方的金属走线距离较远,弯折区域的中性层偏向聚酰亚胺基板,导致金属层所受应力较大,从而造成金属走线断线或出现裂纹现象,进而影响显示的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种显示面板的制备方法,包括:
S10,提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上定义出弯折区域,在所述弯折区域内形成图案化的有机光阻;
S20,对所述玻璃基板无图案化的所述有机光阻覆盖的部分进行刻蚀,使得所述玻璃基板图案化,并在所述弯折区域内形成凸起;
S30,去除图案化的所述有机光阻;
S40,在图案化的所述玻璃基板上形成第一聚酰亚胺薄膜,其中,所述第一聚酰亚胺薄膜在所述弯折区域内的膜层厚度小于其他区域的膜层厚度;
S50,在所述第一聚酰亚胺薄膜上依次形成薄膜晶体管阵列和发光层。
S60,剥离所述玻璃基板。
在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S20之前,在所述玻璃基板的背离所述有机光阻的一侧表面形成保护膜。
在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S30之前,去除所述保护膜。
在本发明的一种实施例中,在所述S20中,利用氢氟酸溶液对所述玻璃基板进行刻蚀,使得所述玻璃基板在所述弯折区域内形成一条形凸起。
在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S50之前,在所述第一聚酰亚胺薄膜上形成阻隔层;在所述阻隔层上形成第二聚酰亚胺薄膜。
在本发明的一种实施例中,在所述S50中,在所述第二聚酰亚胺薄膜上形成所述薄膜晶体管阵列,在所述薄膜晶体管阵列上形成发光层。
在本发明的一种实施例中,所述第一聚酰亚胺薄膜背离所述玻璃基板的一侧表面为一平整的表面。
在本发明的一种实施例中,在所述S20中,刻蚀速率的均一度小于10%。
在本发明的一种实施例中,所述S40包括:
在所述玻璃基板上涂布聚酰胺酸溶液;
低温烘烤以去除有机溶剂;
升温脱水,发生热酰亚胺化反应,得到所述第一聚酰亚胺薄膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的