[发明专利]显示面板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910603357.1 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN110429106B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 刘婉婷;郑颖 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/56;G09F9/30
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法
【说明书】:

一种显示面板及其制备方法,包括:提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上定义出弯折区域,在弯折区域内形成图案化的有机光阻;对玻璃基板无图案化的有机光阻覆盖的部分进行刻蚀,在所述弯折区域内形成凸起;去除图案化的有机光阻;在图案化的所述玻璃基板上形成第一聚酰亚胺薄膜,其中,所述第一聚酰亚胺薄膜在弯折区域内的膜层厚度小于其他区域的膜层厚度。将玻璃基板进行图案化处理,能够达到减薄弯折区域内的聚酰亚胺膜层厚度的效果,进而减小金属走线所受的应力,避免金属走线断裂的风险。

技术领域

发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制备方法。

背景技术

随着科技的不断进步,柔性显示成为大势所趋,柔性显示最重要的部分就是柔性基板,而聚酰亚胺材料由于其具有优异的热学性能、机械性能以及稳定性,被用作柔性基板,广泛地应用于柔性有机发光二极管的制备。

然而,在聚酰亚胺基板上制备薄膜晶体管后,由于聚酰亚胺基板的膜厚较厚,且与其上方的金属走线距离较远,弯折区域的中性层偏向聚酰亚胺基板,导致金属层所受应力较大,从而造成金属断线或出现裂纹现象。

发明内容

本发明提供一种显示面板及其制备方法,以解决现有的显示面板,由于聚酰亚胺基板的膜层厚度较厚,且与其上方的金属走线距离较远,弯折区域的中性层偏向聚酰亚胺基板,导致金属层所受应力较大,从而造成金属走线断线或出现裂纹现象,进而影响显示的技术问题。

为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:

本发明提供一种显示面板的制备方法,包括:

S10,提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上定义出弯折区域,在所述弯折区域内形成图案化的有机光阻;

S20,对所述玻璃基板无图案化的所述有机光阻覆盖的部分进行刻蚀,使得所述玻璃基板图案化,并在所述弯折区域内形成凸起;

S30,去除图案化的所述有机光阻;

S40,在图案化的所述玻璃基板上形成第一聚酰亚胺薄膜,其中,所述第一聚酰亚胺薄膜在所述弯折区域内的膜层厚度小于其他区域的膜层厚度;

S50,在所述第一聚酰亚胺薄膜上依次形成薄膜晶体管阵列和发光层。

S60,剥离所述玻璃基板。

在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S20之前,在所述玻璃基板的背离所述有机光阻的一侧表面形成保护膜。

在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S30之前,去除所述保护膜。

在本发明的一种实施例中,在所述S20中,利用氢氟酸溶液对所述玻璃基板进行刻蚀,使得所述玻璃基板在所述弯折区域内形成一条形凸起。

在本发明的一种实施例中,所述制备方法还包括:在所述S50之前,在所述第一聚酰亚胺薄膜上形成阻隔层;在所述阻隔层上形成第二聚酰亚胺薄膜。

在本发明的一种实施例中,在所述S50中,在所述第二聚酰亚胺薄膜上形成所述薄膜晶体管阵列,在所述薄膜晶体管阵列上形成发光层。

在本发明的一种实施例中,所述第一聚酰亚胺薄膜背离所述玻璃基板的一侧表面为一平整的表面。

在本发明的一种实施例中,在所述S20中,刻蚀速率的均一度小于10%。

在本发明的一种实施例中,所述S40包括:

在所述玻璃基板上涂布聚酰胺酸溶液;

低温烘烤以去除有机溶剂;

升温脱水,发生热酰亚胺化反应,得到所述第一聚酰亚胺薄膜。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司,未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910603357.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top