[发明专利]抽样缺陷检测方法、装置、设备和系统

权利要求书

1.一种抽样缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取一时间段内工艺站点内多个机台所处理的晶圆组的跑货信息、及所述工艺站点的抽样缺陷检测规则；

依据所述跑货信息与所述抽样缺陷检测规则，判断各所述机台所处理的所述晶圆组中未被抽样进行缺陷检测的间隔数量是否超过预设间隔值；

若是，则升级被抽样进行缺陷检测的所述晶圆组的等级以优先进行缺陷检测；若否，则按正常工艺流程进行；其中，

所述升级被抽样进行缺陷检测的所述晶圆组的等级以优先进行缺陷检测，包括：

查询被抽样进行缺陷检测的所述晶圆组的等级；

判断所述等级是否大于或等于预设等级，其中，满足所述预设等级的所述晶圆组能优先进行抽样缺陷检测；

若否，则对所述晶圆组的所述晶圆组等级进行升级以满足所述预设等级，并在所述晶圆组完成缺陷检测后恢复为原来所述等级；若是，则按正常工艺流程进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抽样缺陷检测规则包括：

按照所述工艺站点所处理的所述晶圆组对应的尾号进行抽样缺陷检测；同一尾号的所述晶圆组的所述等级相同，同一尾号的所述晶圆组在同一所述机台上完成对应所述工艺站点的工艺处理。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设间隔值为预设固定值；或获取同一所述工艺站点内其他各所述机台所处理的所述晶圆组对应的未被抽样进行缺陷检测的间隔数量，并从中选取次长的或最短的所述间隔数量为所述预设间隔值。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圆组的等级是依据所述晶圆组的批次或工艺阶段而设定的。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若存在所述机台所处理的所有所述晶圆组未被抽样到进行缺陷检测，则按所述晶圆组尾号选择该机台所处理的所有所述晶圆组中任意一或多个晶圆片距离检测站点最近的加入到检测队列进行缺陷检测。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

依据预设获取频率或预设获取时间节点以自动获取所述跑货信息、及所述抽样缺陷检测规则。

7.一种电子装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取一时间段内工艺站点内多个机台所处理的晶圆组的跑货信息、及所述工艺站点的抽样缺陷检测规则；

处理模块，用于依据所述跑货信息与所述抽样缺陷检测规则，判断各所述机台所处理的所述晶圆组中被抽样进行缺陷检测的间隔数量是否超过预设间隔值；若是，则升级被抽样进行缺陷检测的所述晶圆组的等级以优先进行缺陷检测；若否，则按正常工艺流程进行。

8.一种计算机设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器、及通信器；所述存储器用于存储计算机指令；所述处理器运行计算机指令实现如权利要求1至6中任意一项所述的方法；所述通信器用于通信连接外部设备。

9.一种抽样缺陷检测系统，其特征在于，所述系统包括：权利要求8所述的计算机设备、检测站点、及工艺站点；所述工艺站点具有多个机台，各所述机台具有一个或多个腔体；所述检测站点用于对各所述机台所处理的晶圆组进行抽样缺陷检测。