[发明专利]温度控制电路以及温度控制系统

权利要求书

1.一种温度控制电路，其特征在于，包含：

N个电压源，串联耦接于一高电压端与一低电压端之间的一电流路径中，该N个电压源中的一第i个电压源设定有一第i个跨电压，且该高电压端与该低电压端之间具有一第一电压差；以及

一电流控制单元，串联耦接该N个电压源，用以依据一电流设定电压调整流经该电流路径中的一加热电流，该电流控制单元具有一第二电压差，该第二电压差是由该第一电压差与一第1个跨电压到一第N个跨电压决定；

其中该第i个电压源发出的热能关联于该加热电流以及该第i个跨电压，该电流控制单元发出的热能关联于该加热电流以及该第二电压差，N为自然数，i为不大于N的自然数。

2.如权利要求1所述的温度控制电路，其特征在于，该第i个电压源包含：

一电压设定单元，用以设定一参考值以及一驱动信号，该参考值用以决定该第i个跨电压；以及

一主动式组件，耦接该电压设定单元，且该主动式组件串联耦接于该电流路径中，受控于该驱动信号以选择性地导通或截止该电流路径；

其中该主动式组件导通该电流路径时，该主动式组件用以发出热能，且发出的热能关联于该加热电流以及该第i个跨电压。

3.如权利要求2所述的温度控制电路，其特征在于，更包含：

多个温度侦测单元，用以侦测多个加热区域中的温度，据以产生多个温度侦测信号；以及

一温度控制单元，耦接该些温度侦测单元与该电流控制单元，用以比对该些温度侦测信号与一温度参考信号，据以决定该电流设定电压。

4.如权利要求2所述的温度控制电路，其特征在于，更包含：

多个温度侦测单元，用以侦测多个加热区域中的温度，据以产生多个温度侦测信号；以及

一温度控制单元，耦接该些温度侦测单元与该些电压源，用以比对该些温度侦测信号与一温度参考信号，据以决定每一该电压源中的该电压设定单元设定的该参考值。

5.如权利要求1所述的温度控制电路，其特征在于，该N个电压源与该电流控制单元于同一面上排列成一第一图样，且该第一图样为对称图样。

6.一种温度控制电路，其特征在于，包含：

多个电流源，并联耦接于一高电压端与一低电压端之间，每一该电流源具有一主动式组件，该主动式组件依据一驱动信号调整流经的一加热电流；

多个温度侦测单元，用以侦测多个加热区域中的温度，据以产生多个温度侦测信号；以及

一温度控制单元，耦接该些温度侦测单元与该些电流源，用以比对该些温度侦测信号与一温度参考信号，据以决定每一该电流源的该驱动信号；

其中该高电压端与该低电压端之间具有一第一电压差，每一该电流源发出的热能关联于该加热电流以及该第一电压差。

7.如权利要求6所述的温度控制电路，其特征在于，该些电流源于同一面上排列成一第二图样，且该第二图样为对称图样。

8.一种温度控制系统，其特征在于，包含：

一载台，具有一承载面，且于该承载面上定义有多个加热区域；以及

多个加热器，设置于一加热板上，该加热板相邻于该承载面，该些加热器耦接于一高电压端与一低电压端之间，用以对该些加热区域提供热能；

其中每一该加热器具有一主动式组件，且每一该加热器至少依据一参考值决定该主动式组件的一跨电压，或至少依据一电流设定电压决定该主动式组件的一加热电流，每一该加热器发出的热能关联于该跨电压以及该加热电流。

9.如权利要求8所述的温度控制系统，其特征在于，更包含：

多个温度侦测单元，用以侦测该些加热区域中的温度，据以产生多个温度侦测信号；以及

一温度控制单元，耦接该些温度侦测单元与该些加热器，用以比对该些温度侦测信号与一温度参考信号，据以决定每一该加热器的该参考值或该电流设定电压。

10.如权利要求8所述的温度控制系统，其特征在于，该些加热器于同一面上排列成一第三图样，且该第三图样为对称图样。