[发明专利]适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法

说明书

本发明涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法，属于电子工业洁净室领域。包括无级调速直流无刷新风机组、集中控制器、电动调节阀、风压传感器、无级调速直流无刷支路风机、压差传感器、压差控制器。从调试阶段分为工作模式和值班模式，两种模式初始设置均为各自的调试状态。洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点。本发明具有较高的控制精度和节能性，控制逻辑清晰，工程适应性强。

技术领域

本发明属于电子工业洁净室领域，涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法。

背景技术

电子产品已渗透到各行各业，电子信息产业对社会变化影响力日益加大，被全球各主要国家作为战略性发展产业。随着以平板电视、智能手机等为代表的市场热点产品的发展，速度进一步加快，2018年1-2月，规模以上电子信息制造业增加值同比增长12.1％，快于全部规模以上工业增速4.9个百分点，在制造业细分行业中增速排名居前列。

洁净室是电子工业的基础，对于保障电子产品生产质量具有非常重要的作用。MAU+FFU+DCC洁净系统是电子工业洁净室中应用得十分广泛的洁净形式。压差是电子洁净室的重要控制参数之一，对于保证电子洁净室的室内空气环境具有十分重要的作用。

动态压差控制对于保障洁净室洁净度和降低运行成本意义明显，当前，关于洁净室压差控制的研究相对较少，而且大都集中设计工况(稳态)下送风量与压差的对应关系上，而关于运行状态下动态压差控制的研究更少，且停留在定性研究层面，工程适应性和可操作性均较差。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法，具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制问题。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；

所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。

进一步，所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。

另一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，基于上述控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；