[发明专利]适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法

权利要求书

1.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；

所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。

2.根据权利要求1所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定。

3.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：基于权利要求1-2任一所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；

工作模式调试时，各洁净室处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为工作模式调试状态；

值班模式调试时，让各洁净室处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为值班模式调试状态。

4.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：新风机组的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比各洁净室的支路风管上的风压传感器所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。

5.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：工作模式的压差控制包括以下步骤：

S1：系统启动进入工作模式，将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度初始设置为工作模式调试状态；

S2：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机的运转速度与电动调节阀的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机的运转速度与电动调节阀的开度状态维持不变；

S3：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到上限值时，将支路风机的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机运转速度与电动调节阀阀位状态维持不变；

S4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。

6.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：值班模式的控制方式为：将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。