[发明专利]薄膜片热压合方法及系统在审
申请号: | 201910570321.8 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN112140685A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 兰立广;刘香廷;严静融 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10;B32B37/06;B32B37/00;B32B38/00;B32B38/18;B32B43/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 谭云 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 热压 方法 系统 | ||
1.一种薄膜片热压合方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1,剥离双层离型纸的底层离型纸(5);
S2,对所述双层离型纸的热熔胶层(3)进行预设形状的切割处理,形成胶合区(32)和分离区(31);
S3,将所述分离区(31)由所述双层离型纸的顶层离型纸(6)上剥离,所述胶合区(32)留在所述顶层离型纸(6)上,所述分离区(31)与所述胶合区(32)分离;
S4,将所述胶合区(32)与衬底结构的表面进行热压合;
S5,剥离所述顶层离型纸(6);
S6,将高分子聚合物薄膜(4)与所述衬底结构上的所述胶合区(32)进行热压合。
2.根据权利要求1所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:在步骤S4前还包括以下步骤:
S01,将所述衬底结构放置于支撑平台上;
S02,开启所述支撑平台上的真空系统,吸附并预热所述衬底结构。
3.根据权利要求1所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:在步骤S3与步骤S4之间还包括以下步骤:
S34,将所述胶合区(32)与所述衬底结构的表面对准定位。
4.根据权利要求3所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:在步骤S34中,所述胶合区(32)通过视觉定位系统与所述衬底结构的表面对准定位。
5.根据权利要求1所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:在步骤S4中,所述胶合区(32)与所述衬底结构的表面进行热压合的温度小于或等于200℃。
6.根据权利要求1所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:在步骤S6中,所述高分子聚合物薄膜(4)与所述胶合区(32)通过卷对卷真空层压方式、辊压方式或平板压合方式进行热压合。
7.根据权利要求1所述的薄膜片热压合方法,其特征在于:所述衬底结构包括自下而上依次层叠设置的支撑衬底(1)、外延功能层(7)和金属层(2),所述金属层(2)的面积小于所述支撑衬底(1)的面积,所述胶合区(32)的面积小于所述支撑衬底(1)的面积且大于所述金属层(2)的面积。
8.一种薄膜片热压合系统,其特征在于:包括支撑平台(10)、热熔胶压合系统(20)和薄膜压合系统(30),所述热熔胶压合系统(20)包括沿双层离型纸(40)传输方向依次设置的双层离型纸放卷轴(201)、底层离型纸收卷轴(202)、模切机构(203)、热熔胶层收卷轴(204)、第一热压合机构(205)和顶层离型纸收卷轴(206),所述薄膜压合系统(30)包括沿高分子聚合物薄膜(4)传输方向依次设置的薄膜放卷轴(301)、第二热压合机构(302)、切割机构(303)和薄膜收卷轴(304),所述支撑平台(10)用于放置衬底结构(50),且所述支撑平台(10)可依次移动至所述第一热压合机构(205)、所述第二热压合机构(302)和所述切割机构(303)的下方。
9.根据权利要求8所述的薄膜片热压合系统,其特征在于:所述模切机构(203)包括上辊轴(2031)和下辊轴(2032),所述顶层离型纸(6)和所述热熔胶层(3)位于上辊轴(2031)和所述下辊轴(2032)之间,所述下辊轴(2032)上设有模切刀,所述上辊轴(2031)上设有与所述模切刀对应的刀槽。
10.根据权利要求8所述的薄膜片热压合系统,其特征在于:所述支撑平台(10)上设有用于放置所述衬底结构(50)的凹槽,所述凹槽底部具有加热装置和真空吸附装置。
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