[发明专利]用于半导体器件的测试方法及用于半导体器件的测试系统

权利要求书

1.一种用于半导体器件的测试方法，包括：

将测试托盘加载到测试室中，所述测试托盘具有布置在其上的第一批次和第二批次的半导体器件；

存储所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的批次信息；

对所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个执行测试程序；

获得所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的ID信息；

将所述ID信息与所述批次信息进行匹配以生成批次分类信息；以及

基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息来对所述第一批次和第二批次的半导体器件进行分类。

2.根据权利要求1所述的用于半导体器件的测试方法，其中，将所述测试托盘加载到所述测试室中包括：

提供具有第一用户托盘的测试器处理器，所述第一用户托盘具有布置在其上的所述第一批次的半导体器件；

向所述测试器处理器提供第二用户托盘，所述第二用户托盘具有布置在其上的所述第二批次的半导体器件；以及

将所述第一用户托盘上的半导体器件和所述第二用户托盘上的半导体器件移动到所述测试托盘。

3.根据权利要求2所述的用于半导体器件的测试方法，其中，将所述第一用户托盘移动到所述测试器处理器的第一加载堆叠器，并且将所述第二用户托盘移动到所述测试器处理器的第二加载堆叠器。

4.根据权利要求2所述的用于半导体器件的测试方法，其中，基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息来对所述第一批次和第二批次的半导体器件进行分类包括：

将根据所述测试程序的结果被确定为无缺陷并且具有所述第一批次的批次信息的半导体器件移动至第三用户托盘；以及

将根据所述测试程序的结果被确定为无缺陷并且具有所述第二批次的批次信息的半导体器件移动至第四用户托盘。

5.根据权利要求4所述的用于半导体器件的测试方法，其中，基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息来对所述第一批次和第二批次的半导体器件进行分类还包括：将根据所述测试程序的结果被确定为有缺陷并且具有所述第一批次或所述第二批次的批次信息的半导体器件移动到第五用户托盘。

6.根据权利要求1所述的用于半导体器件的测试方法，其中，存储所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的批次信息包括：将所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的批号存储在测试器服务器中。

7.根据权利要求6所述的用于半导体器件的测试方法，其中，对所述第一批次和第二批次的半导体器件执行测试程序包括：将与所述批次信息相对应的测试程序从所述测试器服务器发送到测试器。

8.根据权利要求1所述的用于半导体器件的测试方法，其中，获得所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的ID信息包括：

当由测试器执行所述测试程序时，读取所述第一批次和第二批次的半导体器件中的每一个的ID信息；以及

将所述ID信息从所述测试器发送到测试器服务器。

9.根据权利要求8所述的用于半导体器件的测试方法，其中，将所述ID信息与所述批次信息进行匹配包括：

将第一半导体器件的ID信息映射到所述第一半导体器件所属的批号；以及

将所述结果和所述批号存储为所述第一半导体器件的历史测试数据。

10.根据权利要求1所述的用于半导体器件的测试方法，其中，基于所述测试程序的结果和所述批次分类信息来对所述第一批次和第二批次的半导体器件进行分类包括：将所述第一批次和第二批次的半导体器件移动到根据所述第一批次和第二批次的半导体器件所属的相应批号而分离的用户托盘。