[发明专利]一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法

说明书

本发明属于太阳电池领域，具体涉及一种检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，所述装置包括印刷有若干色块的标准比色卡，所述标准比色卡制备步骤如下：(1)采用80nm、90nm、100nm、110nm、120nm、130nm、140nm对应的参数在产线硅片背膜沉积氧化铝的基础上在分别沉积不同的厚度的氮化硅：(2)采用测色仪测定不同厚度氮化硅的PERC电池背面叠加膜的颜色，利用颜色模拟软件对色彩数据进行模拟，制作标准色块，将标准色块按氮化硅厚度依次排列，粘贴，制得标准比色卡。本发明提供了一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法，能够快速检测背膜氮化硅厚度。

技术领域

本发明属于太阳电池领域，具体涉及一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法。

背景技术

随着高效太阳电池研发的不断推进，优质的表面钝化已成为高转换效率太阳电池不可或缺的，近年来，钝化发射区背面电池(PERC)技术得到了广泛关注，PERC即钝化发射极背面接触(Passivated EmitterRear Contact)电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过在电池片背表面沉积一层Al₂O₃，然后再使用等离子化学气相沉积法PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)在背面镀一层SiNx薄膜，对Al₂O₃起保护作用；同时，这层SiNx薄膜还能提高少子寿命，增加对长波的反射，对光进行充分利用，增加硅片对长波的吸收，显著提高开路电压和短路电流，极大地提高了电池片效率。PERC太阳能电池与常规太阳能电池的工艺步骤上的区别主要在于多出三道工艺步骤，分别为：背面镀Al₂0₃、背面镀SiNx、背面激光开槽；其中背膜镀Al₂0₃和SiNx是叠加膜，目前还没有一种仪器可以准确的测试背膜的厚度和折射率，产线一般监控方式为分别用抛光片单独测试Al₂0₃和SiNx其厚度。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法，能够快速检测背膜氮化硅厚度。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案为：

一种检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，所述装置包括印刷有若干色块的标准比色卡，所述标准比色卡制备步骤如下：

(1)采用80nm、90nm、100nm、110nm、120nm、130nm、140nm对应的参数在产线硅片背膜沉积氧化铝的基础上在分别沉积不同的厚度的氮化硅：

(2)采用测色仪测定不同厚度氮化硅的PERC电池背面叠加膜的颜色，利用颜色模拟软件对色彩数据进行模拟，制作标准色块，将标准色块按氮化硅厚度依次排列，粘贴，制得标准比色卡。

进一步的，所述标准比色卡的色阶范围是：深蓝-蓝黄-金黄。

进一步的，其中深蓝-蓝黄色阶对应标准比色卡上氮化硅厚度为小于110nm，蓝黄-金黄色阶对应标准比色卡上氮化硅厚度为大于110nm。

进一步的，所述标准比色卡包括七种颜色，分别为深蓝色、蓝色、淡蓝色、蓝黄色、淡黄色、黄色和金黄色，分别用数字1～7表示。

进一步的，所述涂层比色卡中规定的7种颜色用RGB色彩空间进行数值表示，数字1～7分别表示为：