[发明专利]一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法在审
| 申请号： | 201910553501.5 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110429039A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 赵洪俊;宛正 | 申请（专利权）人： | 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 刘妍妍 |
| 地址： | 224400 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电池背面 氮化硅 叠加膜 标准比色卡 快速检测 标准色块 背膜 沉积 模拟软件 色彩数据 依次排列 测色仪 种检测 氧化铝 硅片 产线 色块 粘贴 制备 印刷 制作 | ||
1.一种检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，其特征在于，所述装置包括印刷有若干色块的标准比色卡，所述标准比色卡制备步骤如下：
(1)采用80nm、90nm、100nm、110nm、120nm、130nm、140nm对应的参数在产线硅片背膜沉积氧化铝的基础上在分别沉积不同的厚度的氮化硅：
(2)采用测色仪测定不同厚度氮化硅的PERC电池背面叠加膜的颜色，利用颜色模拟软件对色彩数据进行模拟，制作标准色块，将标准色块按氮化硅厚度依次排列，粘贴，制得标准比色卡。
2.根据权利要求1所述的检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，其特征在于，所述标准比色卡的色阶范围是：深蓝-蓝黄-金黄。
3.根据权利要求2所述的检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，其特征在于，其中深蓝-蓝黄色阶对应标准比色卡上氮化硅厚度为小于110nm，蓝黄-金黄色阶对应标准比色卡上氮化硅厚度为大于110nm。
4.根据权利要求2所述的检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，其特征在于，所述标准比色卡包括七种颜色，分别为深蓝色、蓝色、淡蓝色、蓝黄色、淡黄色、黄色和金黄色，分别用数字1～7表示。
5.根据权利要求4所述的检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，其特征在于，所述涂层比色卡中规定的7种颜色用RGB色彩空间进行数值表示，数字1～7分别表示为：
数字 1 2 3 4 5 6 7 R 0 0 190 0 255 255 255 G 0 0 230 255 255 255 210 B 135 240 230 0 200 0 0
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
