[发明专利]加热装置及喷雾式涂胶机有效
| 申请号: | 201910544140.8 | 申请日: | 2019-06-21 |
| 公开(公告)号: | CN110201851B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
| 发明(设计)人: | 贾月明;吕磊;吴卿;刘玉倩;郑如意;李嘉保 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
| 主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02;B05C9/14;B05D3/02 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 倪静 |
| 地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 加热 装置 喷雾 涂胶 | ||
1.一种加热装置,用于涂胶机,其特征在于,包括:热盘(120)和吸盘(130),所述热盘(120)与所述吸盘(130)相对设置;
所述热盘(120)划分为多个加热区,各所述加热区对应设置有加热元件,多个所述加热区对应一个传热面,所述吸盘(130)具有受热面,所述传热面与所述受热面相对设置,且两面之间采用面接触;
所述热盘(120)的每个加热区的上表面或内部固设一个或多个加热元件;或者,所述热盘(120)的盘面上设有用于布设加热元件的凹槽,所述凹槽的数量与所述加热区的数量相等,所述加热元件布设在相应的凹槽内;
所述吸盘(130)和热盘(120)之间设有定位结构;
所述热盘(120)设有第一管接头,第一管接头上安装有气管,所述气管的另一端连通气电滑环设有的第二管接头,用于对吸盘(130)以及其上的晶片提供真空吸附;
所述热盘(120)远离所述吸盘(130)的一侧连接有转盘(110),所述热盘(120)与所述转盘(110)之间设有用于阻止热量向所述转盘(110)传递的隔热组件;
所述隔热组件包括隔热圈(140),热盘(120)靠近转盘(110)的一端向外凸起形成凸台结构,隔热圈(140)呈空心圆环状结构,且套设于凸台上,使凸台的下端面与转盘(110)的上端面之间留有间隙。
2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述加热区对应设置有用于检测该区域温度的测温元件,所述测温元件与第一控制元件电连接,所述第一控制元件用于控制所述加热元件工作或不工作。
3.根据权利要求2所述的加热装置,其特征在于,所述加热元件采用加热丝,所述测温元件采用热电偶,所述第一控制元件采用温控器。
4.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述隔热组件包括固设于所述热盘(120)与所述转盘(110)之间的隔热圈(140)。
5.一种喷雾式涂胶机,其特征在于,包括:权利要求1-4任一项所述的加热装置(100),以及机架(200)、驱动所述加热装置(100)转动的驱动机构(300);
所述加热装置(100)和所述驱动机构(300)均安装于所述机架(200)上。
6.根据权利要求5所述的喷雾式涂胶机,其特征在于,所述驱动机构(300)包括电机(310)、与所述电机(310)传动连接的传送带组件(320)以及与所述传送带组件(320)传动连接的转轴(330);
所述电机(310)安装于所述机架(200)上,所述转轴(330)与所述机架(200)枢接,所述加热装置(100)连接于所述转轴(330)的一端。
7.根据权利要求6所述的喷雾式涂胶机,其特征在于,所述传送带组件(320)包括主皮带轮(321)、从皮带轮(322)和带动两者同步转动的皮带(323),所述主皮带轮(321)与所述电机(310)的输出端固定连接,所述从皮带轮(322)固定套设于所述转轴(330)上。
8.根据权利要求6所述的喷雾式涂胶机,其特征在于,所述转轴(330)通过轴承组件(340)与所述机架(200)枢接;
所述轴承组件(340)包括同轴设置的轴承座(341)、第一角接触轴承(342)、第二角接触轴承(343)和轴承端盖(344),所述轴承座(341)固设于所述机架(200)上,所述第一角接触轴承(342)和所述第二角接触轴承(343)紧密套设于所述转轴(330)上,所述轴承端盖(344)与所述轴承座(341)可拆卸连接,用于使所述第一角接触轴承(342)与所述第二角接触轴承(343)在轴向上紧密抵接。
9.根据权利要求6所述的喷雾式涂胶机,其特征在于,所述转轴(330)远离所述加热装置(100)的一端设有转接套(500)和气电滑环(600),所述转接套(500)与所述转轴(330)共轴,且所述转接套(500)固定连接于所述转轴(330)上,所述气电滑环(600)包括转动部(610)和固定部(620),所述转动部(610)与所述转接套(500)固定连接,所述固定部(620)安装于所述机架(200)上。
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