[发明专利]自旋效应微电子集成测试台

权利要求书

1.一种自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：该测试台包括系统电源和处于稳恒磁场中并绕水平轴旋转的样品台(17)，所述样品台(17)包括用于测量样品中电信号的测量单元、用于在样品处形成微波场的微波单元以及用于在垂直于样品平面的方向上建立温度梯度的加热单元；所述微波单元包括微波信号发生器、平面波导、微波接头(8)以及用于传输微波信号的同轴电缆(6)；所述平面波导设于样品(11)下方的铝基PCB板(13)中，其通过微波接头(8)与同轴电缆(6)相连，同轴电缆(6)连接微波信号发生器；所述铝基PCB板(13)包含有从下至上依次设置的铝制基层(21)、介电层(22)、电路层(23)和阻焊剂层(24)，所述平面波导位于电路层(23)；所述同轴电缆(6)上还设有微波旋转关节(7)，所述同轴电缆(6)通过微波旋转关节(7)和微波信号发生器的接出线相连。

2.根据权利要求1所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述平面波导包括3条相互平行的金属导带。

3.根据权利要求1所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述测量单元包括用于测试样品(11)中电信号的测量仪表、样品电源以及用于电连接样品(11)和所述测量仪表的电极电路，所述电极电路埋设在位于样品下方的铝基PCB板(13)中。

4.根据权利要求1所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述加热单元包括内含有发热丝和温度传感器的加热器，以及与加热器相连的温度控制器。

5.根据权利要求4所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述加热器包括位于样品(11)上方的第一加热器(10)和位于样品(11)下方的第二加热器(14)。

6.根据权利要求1所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：实现所述的绕水平轴旋转的机械结构包括外框(15)、与外框(15)转动连接的齿轮(3)以及用于驱动齿轮(3)转动的电机(18)；所述样品台(17)与齿轮(3)相连。

7.根据权利要求6所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述样品台(17)还包括基座(1)以及与基座(1)相连的外罩(2)，所述外罩(2)用于将样品台与外部环境隔离。

8.根据权利要求1所述的自旋效应微电子集成测试台，其特征在于：所述稳恒磁场由设置于样品台(17)外部的磁体(16)产生。