[发明专利]真空阀

说明书

一种真空阀，通过改进真空阀的主阀芯及副阀芯来实现小形化和构造的简略化。具有连结第一端口(15)和第二端口(16)的主流路(17)、将该主流路(17)包围的主阀座(19)、通过相对于该主阀座(19)接触离开来开闭前述主流路(17)的主阀芯(20)、形成在该主阀芯(20)的内部的副流路(21)、形成在前述主阀芯(20)的外面上的副阀座(24)、通过在前述主阀芯(20)的外部相对于该副阀座(24)接触离开来开闭前述副流路(21)的副阀芯(25)和使前述主阀芯(20)及副阀芯(25)开闭的杆(35)，前述副阀芯(25)通过由前述杆(35)直接操作来开闭前述副流路(21)，前述主阀芯(20)通过由前述杆(35)经前述副阀芯(25)操作来开闭前述主流路(17)。

技术领域

本发明涉及真空阀，更详细地说，涉及为了阶段性地开闭将两个端口连结的流路而并列地设置了开度大的主阀部和开度小的副阀部的真空阀。

背景技术

为了阶段性地开闭将两个端口连结的流路而并列地设置了开度大的主阀部和开度小的副阀部的真空阀，如在专利文献1-3中公开的那样是公知的。此种真空阀，例如是在半导体处理装置中连接在真空腔和真空泵之间，在对前述真空腔进行减压的情况下使用的阀。

但是，公知的真空阀因为被构成为，在设置于前述主阀部的主阀芯的内部设置截面积小的副流路和包围该副流路的副阀座，并且收容副阀芯，通过使该副阀芯在前述主阀芯的内部位移，并使该副阀芯相对于前述副阀座接触离开来开闭前述副流路，所以前述主阀芯在大形化的同时，其构造也复杂化，存在容易导致真空阀整体的大形化及构造的复杂化这样的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭52-16017号公报

专利文献2：日本特开平9-137879号公报

专利文献3：日本特开2007-16996号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的技术课题是通过改进真空阀的主阀芯及副阀芯来实现该真空阀的小形化和构造的简略化。

为了解决课题的手段

为了解决课题，本发明的真空阀，具有第一端口及第二端口、主流路、主阀座、主阀芯、副流路、副阀座、副阀芯和开闭操作机构，所述第一端口及第二端口形成在外壳上，所述主流路以将该第一端口和第二端口连结的方式形成在前述外壳的内部，所述主阀座包围该主流路，所述主阀芯通过相对于该主阀座接触离开来开闭前述主流路，所述副流路以与前述主流路呈并列的方式形成在该主阀芯的内部，所述副阀座以包围该副流路的方式形成在前述主阀芯上，所述副阀芯通过相对于该副阀座接触离开来开闭前述副流路，所述开闭操作机构开闭操作前述主阀芯及副阀芯，在前述外壳的内部，以滑动自由地贯通前述主阀芯的方式配设了杆，在该杆的作为轴线方向的一端的基端部连结了前述开闭操作机构，并且在该杆的作为轴线方向的另一端的前端部以在前述主阀芯的外部相对于该主阀芯接触离开的方式配设了前述副阀芯，在该主阀芯的外面的前述副阀芯抵接的部分上形成了前述副阀座，前述副阀芯通过由前述杆直接操作来开闭前述副流路，前述主阀芯通过由前述杆经前述副阀芯操作来开闭前述主流路。

在本发明中，前述杆具有可分离地被连结的前端侧的第一杆部和基端侧的第二杆部，前述第一杆部贯通前述主阀芯，在该第一杆部的前端设置了前述副阀芯，前述第二杆部与前述开闭操作机构连结，前述主阀芯通过使前述第一杆部从前述第二杆部分离，可从前述杆拆下。

在此情况下，希望前述主阀芯具有相对于前述主阀座接触离开的圆盘部件和与该圆盘部件分体地形成而与该圆盘部件组合的圆筒部件，在前述圆盘部件和圆筒部件之间形成了前述副流路，并且在前述圆盘部件上形成了前述副阀座，在前述圆筒部件的内周设置了对前述杆进行导向的轴承部件和将该圆筒部件的内周和前述杆的外周之间密封的密封部件。