[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，其特征在于，

具有第一端口及第二端口、主流路、主阀座、主阀芯、副流路、副阀座、副阀芯和开闭操作机构，所述第一端口及第二端口形成在外壳上，所述主流路以将该第一端口和第二端口连结的方式形成在前述外壳的内部，所述主阀座包围该主流路，所述主阀芯通过相对于该主阀座接触离开来开闭前述主流路，所述副流路以与前述主流路呈并列的方式形成在该主阀芯的内部，所述副阀座以包围该副流路的方式形成在前述主阀芯上，所述副阀芯通过相对于该副阀座接触离开来开闭前述副流路，所述开闭操作机构开闭操作前述主阀芯及副阀芯，

在前述外壳的内部，以滑动自由地贯通前述主阀芯的方式配设了杆，在该杆的作为轴线方向的一端的基端部连结了前述开闭操作机构，并且在该杆的作为轴线方向的另一端的前端部以在前述主阀芯的外部相对于该主阀芯接触离开的方式配设了前述副阀芯，在该主阀芯的外面的前述副阀芯抵接的部分上形成了前述副阀座，

前述主阀芯具有相对于前述主阀座接触离开的圆盘部件和与该圆盘部件分体地形成而与该圆盘部件组合的圆筒部件，在前述圆盘部件和圆筒部件之间形成了前述副流路，并且在前述圆盘部件上形成了前述副阀座，在前述圆筒部件的内周设置了对前述杆进行导向的轴承部件和将该圆筒部件的内周和前述杆的外周之间密封的密封部件，

前述副阀芯通过由前述杆直接操作来开闭前述副流路，

前述主阀芯通过由前述杆经前述副阀芯操作来开闭前述主流路。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

前述杆具有可分离地被连结的前端侧的第一杆部和基端侧的第二杆部，

前述第一杆部贯通前述主阀芯，在该第一杆部的前端设置了前述副阀芯，

前述第二杆部与前述开闭操作机构连结，

前述主阀芯通过使前述第一杆部从前述第二杆部分离，可从前述杆拆下。

3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

在前述杆上以沿该杆位移自由但通过与前述第二杆部卡定而不能从该第二杆部分离的方式安装了做成筒状的弹簧承载部件，

在前述弹簧承载部件上设置了前述主阀芯的圆筒部件嵌合的筒状的罩部和第一弹簧座及第二弹簧座，

在前述第一弹簧座和形成在前述外壳上的主弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了将前述主阀芯向与前述主阀座抵接的方向加载的主阀弹簧，

在前述第二弹簧座和形成在前述杆上的副弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了经该杆将前述副阀芯向与前述副阀座抵接的方向加载的副阀弹簧，

在前述主阀芯上连结了将前述主阀弹簧及副阀弹簧包围的波纹管的一端，该波纹管的另一端与前述外壳连结。

4.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，

前述副阀芯由前述杆的前进动作从前述副阀座离开，将前述副流路开放，

前述主阀芯由前述杆的后退动作经前述副阀芯进行位移，从前述主阀座离开，将前述主流路开放。

5.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，前述开闭操作机构由一个流体压缸形成，具有与前述杆连结的活塞、形成在该活塞的一侧的第一压力室和形成在该活塞的另一侧的第二压力室，前述活塞与前述杆连结，若向前述第一压力室供给压力流体，则前述活塞及杆前进，前述副阀芯将副流路开放，若向前述第二压力室供给压力流体，则前述活塞及杆后退，前述主阀芯将主流路开放。

6.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，前述真空阀被构成为，具有调整前述副阀芯的开度的开度调整机构，该开度调整机构具有可通过形成在前述外壳的侧面上的操作口进行旋转操作的调整螺母和该调整螺母啮合的挡块，该挡块可通过旋转操作前述调整螺母在轴线方向位移，前述副阀芯的开度与该挡块的位置相应地被调整。