[发明专利]一种电子封装用石墨片/Cu基复合材料的制备方法在审
| 申请号: | 201910534310.4 | 申请日: | 2019-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN110184494A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
| 发明(设计)人: | 汤文明;聂强强;黄滢秋 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
| 主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00;C22C1/05;C22C1/10 |
| 代理公司: | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人: | 刘海莉 |
| 地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨片 复合材料 制备 电子封装 机械搅拌方式 多道次冷轧 高性能电子 常压烧结 超声分散 工艺制备 恒温干燥 平均粒径 气氛保护 热沉材料 退火处理 无水乙醇 综合性能 致密化 质量比 大径 高纯 混料 可用 平直 保温 封装 压制 | ||
一种电子封装用石墨片/Cu基复合材料的制备方法,制备步骤:采用平均直径D50为40‑100μm,厚度为100‑200nm的大径厚比石墨片在无水乙醇中超声分散,添加平均粒径为50‑100um的Cu粉,石墨片与Cu粉的质量比为(1‑5):(99‑95),采用机械搅拌方式混料,在60‑80℃下恒温干燥,300‑600MPa单向压制,99.99vol%高纯H2气氛保护,700‑1000℃保温1‑2h常压烧结,最后采用多道次冷轧+退火处理工艺获得近完全致密化的石墨片/Cu基复合材料。采用上述工艺制备的1‑5wt%石墨片/Cu基复合材料中的石墨片平直,综合性能优异,可用作高性能电子封装热沉材料。
技术领域
本发明涉及一种金属基复合材料的制备方法,具体地说是一种电子封装用石墨片/Cu基复合材料的制备方法,属于新材料及其制备工艺技术领域。
背景技术
石墨片/Cu基复合材料综合了Cu的高导电、高导热性能和石墨片低膨胀特性,可望成为一种理想的新型电子封装热沉材料,满足超大规模集成电路及电力电子器件发展对封装材料高热耗散、与半导体和陶瓷基板低热膨胀系数失配及高可靠性的性能需求。但该金属基复合材料的开发利用需要解决:1)石墨片与Cu粉混合不均,石墨片在Cu基体内部弯折、团聚,导致复合材料热导率、机械强度及抑制复合材料热膨胀的能力严重下降;2)复合材料致密化等的关键技术问题。
通常应用的石墨材料包括天然鳞片石墨、石墨烯及大径厚比石墨片等。天然石墨片的尺寸最大,脆性也最大,各向异性显著,导致复合材料的强度大大下降,难以满足材料加工、安装的基本要求。专利CN106521230A采用天然鳞片石墨制备的石墨鳞片/Cu复合材料虽然在X-Y方向热导率比较高,但在Z轴方向的热导率低于50 W· (m·K)-1。石墨烯虽然各项性能优异,但在金属基体中容易团聚,难以分散均匀,且石墨烯的热增强效果差,成本高,目前,还不具备用于制备电子封装热沉材料的前景。大径厚比石墨片几何尺寸介于石墨烯及天然鳞片石墨之间,与石墨烯相比,成本极低,在金属基体中易于分散,团聚程度大幅降低,可实现较大含量的添加。Mazloum等采用常压烧结法制备了石墨/Cu基复合材料的致密度比较低,难以致密化,而且制备周期长,效率低(Copper-graphite composites: thermalexpansion, thermal and electrical conductivities, and cross-propertyconnections [J]. J. Mater. Sci., 2016, 51(17): 7977-7990.)。与天然鳞片石墨相比,大径厚比石墨片保持在片层内较高的热导率,且机械强度较高,石墨片/Cu基复合材料的力学性能较高,综合性能得到显著提升。因此,石墨片/Cu基复合材料,相对于天然鳞片石墨(石墨烯)/Cu基复合材料,具有更高的性价比和更好的应用前景。
目前,常见的Cu基复合材料制备方法主要有:热压固结法、挤压铸造法、真空压力浸渍法、粉末冶金法等。由于热压固结法、挤压铸造法、真空压力浸渍法制备工艺复杂,对设备要求高,成本高昂,难以批量生产;挤压铸造法还因为制备过程中要施加的较大压力,难以生产形状复杂和壁薄的复合材料,易出现氧化夹杂物、孔洞、气泡;真空压力浸渍法还因为需要以第二相增强体作为骨架,不适合于中低含量增强体的复合材料制备等缺点,进一步制约了其在电子封装复合材料制备中的应用。粉末冶金法具有:1) 烧结温度低,可有效降低复合材料体系中的界面扩散与反应;2) 易于实现增强体含量的连续变化,实现增强体在基体中均匀分布,提高材料结构与性能的一致性;3) 工艺简单易行,成本较低等优点,因此,成为制备石墨片/Cu基复合材料优选的工艺。但是,粉末冶金难以实现石墨片/Cu基复合材料的完全致密化,本发明采用常压烧结石墨片/Cu基复合材料坯体多道次轧制工艺使该复合材料接近完全致密,同时,改善石墨片在Cu基体中的分布状态,冷轧后的坯体再经过退火处理消除复合材料内部的残余应力、消除组织畸变,优化复合材料的显微组织结构,提高复合材料性能。
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