[发明专利]低触发电压、高ESD电路在审
申请号: | 201910532899.4 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110349950A | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 曹小强;李大刚;岑远军;彭萧天 | 申请(专利权)人: | 成都华微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 成都惠迪专利事务所(普通合伙) 51215 | 代理人: | 刘勋 |
地址: | 610000 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掺杂区 触发结构 触发电压 连接端 触发 模拟集成电路 电路连接 工艺移植 接地端 控制端 电阻 串联 | ||
低触发电压、高ESD电路,本发明涉及模拟集成电路领域。本发明包括在PAD端到接地端之间顺次串联的第一P+掺杂区、第一N+掺杂区、第二P+掺杂区、第二N+掺杂区,第一N+掺杂区与触发结构连接端形成电路连接,触发结构连接端通过第一电阻与PAD端连接。本发明采用把SCR结构的控制端(栅极或基极)引出,连接到触发结构上,通过触发结构来触发SCR结构触发,解决了低触发电压和工艺移植问题。
技术领域
本发明涉及模拟集成电路领域。
背景技术
模拟集成电路中,为了满足集成电路正常的生产、包装、运输等,IC芯片需要达到一定的ESD等级,通常要求达到GJB597B标准中ESD等级的2KV及以上。有些特殊器件,在系统应用中,会面临更恶劣的环境,如EOS、浪涌突波等,GJB597B标准中2KV的ESD等级通常不能满足要求,而要达到IEC61000-4-2中15KV的ESD等级,为了实现15KV ESD等级,常规芯片需要外加TVS或者压敏电阻,才能达到这样的目的。在集成电路中,也可通过集成SCR结构实现15KV ESD能力。
为了节省系统成本,提高芯片自身的可靠性,用户对芯片的ESD等级也提出15KVESD等级要求。在《多功能电能表通信协议》中,就明确要求驱动器和接收器需要达到15KVESD及以上。
在现有的15KV ESD器件中,通常在芯片中集成了SCR结构,但SCR结构的工艺移植性不好、触发电压随工艺变化较大。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:解决SCR结构工艺移植性问题,提供一种低触发电压、高ESD电路。
本发明解决所述技术问题采用的技术方案是,低触发电压、高ESD电路,其特征在于,包括在PAD端到接地端之间顺次串联的第一P+掺杂区、第一N+掺杂区、第二P+掺杂区、第二N+掺杂区,第一N+掺杂区与触发结构连接端形成电路连接,触发结构连接端通过第一电阻与PAD端连接。
或者,所述第二N+掺杂区通过顺次串联的第三P+掺杂区、第三N+掺杂区、第四P+掺杂区连接到接地端,第四P+掺杂区和接地端直接连接,第三N+掺杂区连接第二触发结构连接端,第二触发结构连接端通过第二电阻和接地端连接。
本发明采用把SCR结构的控制端(栅极或基极)引出,连接到触发结构上,通过触发结构来触发SCR结构触发,解决了低触发电压和工艺移植问题。
附图说明
图1为现有技术SCR结构示意图。
图2为现有技术正负耐压SCR结构示意图。
图3为本发明低触发电压、正耐压SCR结构的原理图。
图4为本发明低触发电压、正耐压SCR结构的一种实现方式的结构图。
图5为本发明低触发电压、正负耐压、SCR结构的原理图。
图6为本发明低触发电压、正负耐压、SCR结构的一种实现方式的结构图。
图7为本发明低触发电压、正负耐压、SCR结构的一种实现方式的结构图。
图8为典型的触发结构的示意图。
具体实施方式
参考图1的两种SCR结构,图1(a)为传统的SCR结构,触发电压由NWELL/P-SUB的击穿电压决定,虽然该结构的放电能力较大,但NWELL/P-SUB在CMOS工艺中通常在25V以上,而常规5V MOS器件的触发电压为13V左右,使得该结构难以有效保护内部器件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的