[发明专利]一种LED显示面板、其制备方法及显示装置有效
申请号: | 201910532354.3 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110148607B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 于勇;舒适;岳阳;黄海涛;李翔;徐传祥 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 显示 面板 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种LED显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
形成至少包括薄膜晶体管的驱动背板;
在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成多个光电转换器;
在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成LED芯片,且所述光电转换器位于相邻的所述LED芯片之间;
通过光刻工艺在所述光电转换器背离所述驱动背板一侧形成围绕各所述LED芯片的挡墙的图形,且在曝光时,向各所述光电转换器提供电压,所述挡墙的曝光量根据所述挡墙所在区域的所述光电转换器的输出信号进行补偿;其中,离所述驱动背板表面越近,所述挡墙平行于所述驱动背板的横截面的面积越大。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,通过光刻工艺在所述光电转换器背离所述驱动背板一侧形成围绕各所述LED芯片的挡墙的图形,具体包括:
形成覆盖所述LED芯片的挡墙膜层,其中,所述挡墙膜层的材料为掺有散射离子的负性光刻胶材料;
向各所述光电转换器提供电压;
采用曝光机对所述挡墙膜层进行曝光,并根据所述光电转换器的输出信号调节所述曝光机的曝光量,以使各所述光电转换器的输出信号与基准信号的差异在预设范围内;
对所述挡墙膜层进行显影,形成围绕各所述LED芯片的挡墙的图形。
3.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,采用数字曝光机对所述负性光刻胶层进行曝光。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成LED芯片之后,在通过光刻工艺在所述光电转换器的上方形成挡墙的图形之前,还包括:
形成覆盖所述LED芯片的保护层。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,通过转移的方法在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成LED芯片。
6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成多个光电转换器,具体为:
在所述驱动背板具有所述薄膜晶体管的一侧形成多个光电二极管。
7.一种LED显示面板,其特征在于,所述显示面板采用如权利要求1-6任一项所述的制备方法制备;其中,
所述显示面板包括:至少包括薄膜晶体管的驱动背板、位于驱动背板具有所述薄膜晶体管一侧的LED芯片、围绕各所述LED芯片的挡墙、位于所述挡墙与所述驱动背板之间的光电转换器;其中,所述挡墙平行于所述驱动背板的横截面离所述驱动背板表面越近,其面积越大。
8.如权利要求7所述的LED显示面板,其特征在于,所述挡墙膜层的材料为掺有散射离子的负性光刻胶材料。
9.如权利要求7所述的LED显示面板,其特征在于,还包括:包覆所述LED芯片的保护层。
10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求7-9任一项所述的LED显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的