[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其在由相互交叉的多条分割预定线划分而在正面上形成有多个器件的晶片的内部形成改质层，其中，

该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其对晶片进行保持；

激光光线照射单元，其对该卡盘工作台所保持的晶片照射脉冲激光光线而在晶片的内部形成改质层；

X轴进给机构，其将该卡盘工作台和该激光光线照射单元在X轴方向上相对地进行加工进给；以及

Y轴进给机构，其将该卡盘工作台和该激光光线照射单元在与X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进行分度进给，

该激光光线照射单元包含：

激光振荡器，其射出对于晶片具有透过性的波长的脉冲激光光线；

聚光器，其使该激光振荡器射出的脉冲激光光线会聚于该卡盘工作台所保持的晶片；

分支部，其配设在该激光振荡器与该聚光器之间，对该激光振荡器射出的脉冲激光光线进行分支而在X轴方向上生成至少两个聚光光斑；以及

掩模部，其配设在该激光振荡器与该聚光器之间，使该激光振荡器射出的脉冲激光光线的聚光光斑在Y轴方向上缩小而收敛在该分割预定线的宽度内，

该掩模部包含：

一对掩模片，该一对掩模片彼此在Y轴方向上隔开间隔而配置；以及

一对间隙调整构件，该一对间隙调整构件使该一对掩模片在Y轴方向上移动，

利用该一对间隙调整构件对该一对掩模片之间的间隙进行调整，从而使脉冲激光光线的聚光光斑在Y轴方向上缩小而收敛在该分割预定线的宽度内。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

至少分支成两个的聚光光斑的间隔被设定成使相邻的改质层的在X轴方向上伸展的裂纹连结起来的间隔。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

分支前的脉冲激光光线的脉冲能量为12μJ～15μJ，脉冲激光光线被该分支部分支成两个聚光光斑。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，

当两个聚光光斑的间隔为5μm～6μm，基于该X轴进给机构的相对加工进给速度为V(mm/s)，重复频率为R(kHz)时，

聚光光斑的间隔×1.4≤V/R≤聚光光斑的间隔×2。