[发明专利]微流体器件及其制造方法

说明书

本申请公开了一种微流体器件，包括：第一基板，所述第一基板具有第一安装侧；第二基板，所述第二基板具有第二安装侧，所述第二安装侧能够与所述第一安装侧相互连接以将所述第一基板与所述第二基板安装在一起；其中，所述第一安装侧和所述第二安装侧中的至少一个具有流体腔室槽，在所述第一基板与所述第二基板安装在一起后，所述流体腔室槽形成具有流体入口和流体出口的流体腔室；以及其中，具有所述流体腔室槽的所述第一安装侧和/或所述第二安装侧具有与所述流体出口相邻的出口扩展槽，所述出口扩展槽从所述流体出口向下游延伸，并且其中在所述流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓位于所述流体出口的外周轮廓之外。

技术领域

本申请涉及微流体技术领域，更具体地，涉及一种微流体器件及其制造方法。

背景技术

微流控技术是一种用于精确控制和操控微小体积流体的技术。在实际应用中，实现微流控的微流体器件中流体通道的尺度非常小，约为100纳米至500微米，甚至更小。

随着相关研究的持续发展，微流控技术在诸多领域开始得到应用。喷墨打印头就是微流控技术最成功的商业应用之一。此外，一些液体雾化器，特别是体积控制要求较高的医用雾化器，也逐渐开始使用微流体器件作为其雾化喷嘴。雾化喷嘴受到高压作用，将液体雾化成非常微小的液滴，以提高肺部对液滴的吸收率。

然而，现有的微流体器件对流体体积或流量的控制精度有限，因此需要一种改进的微流体器件。

发明内容

本申请的一个目的在于提供一种微流体器件，以提高流体体积和流量的控制精度。

在本申请的一个方面，提供了一种微流体器件，包括：第一基板，所述第一基板具有第一安装侧；第二基板，所述第二基板具有第二安装侧，所述第二安装侧能够与所述第一安装侧相互连接以将所述第一基板与所述第二基板安装在一起；其中，所述第一安装侧和所述第二安装侧中的至少一个具有流体腔室槽，在所述第一基板与所述第二基板安装在一起后，所述流体腔室槽形成具有流体入口和流体出口的流体腔室；以及其中，具有所述流体腔室槽的所述第一安装侧和/或所述第二安装侧具有与所述流体出口相邻的出口扩展槽，所述出口扩展槽从所述流体出口向下游延伸，并且其中在所述流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓位于所述流体出口的外周轮廓之外。

在本申请的另一个方面，提供了一种微流体器件的制造方法，包括：提供第一基板，所述第一基板具有第一安装侧；提供第二基板，所述第二基板具有第二安装侧；在所述第一安装侧上形成多个流体腔室槽，每个所述流体腔室槽具有流体入口与流体出口；在所述第一安装侧上形成与每个所述流体出口相邻的出口扩展槽，所述出口扩展槽从所述流体出口向下游延伸，并且其中在所述流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓位于所述流体出口的外周轮廓之外；将所述第一基板的第一安装侧与所述第二基板的第二安装侧相互连接以将所述第一基板与所述第二基板安装在一起，从而所述流体腔室槽形成流体腔室；以及在每个所述出口扩展槽处切割所述第一基板和所述第二基板，以分离所述多个流体腔室。

以上为本申请的概述，可能有简化、概括和省略细节的情况，因此本领域的技术人员应该认识到，该部分仅是示例说明性的，而不旨在以任何方式限定本申请范围。本概述部分既非旨在确定所要求保护主题的关键特征或必要特征，也非旨在用作为确定所要求保护主题的范围的辅助手段。

附图说明

通过下面说明书和所附的权利要求书并与附图结合，将会更加充分地清楚理解本申请内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。

图1示出了一种用作为雾化喷嘴的微流体器件在其液体出口处的局部示意图；

图2a示出了金刚石刀切割后的划片槽附近的晶圆表面；

图2b示出了激光切割后的划片槽附近的晶圆表面；