[发明专利]微流体器件及其制造方法

权利要求书

1.一种微流体器件，包括：

第一基板，所述第一基板具有第一安装侧；

第二基板，所述第二基板具有第二安装侧，所述第二安装侧能够与所述第一安装侧相互连接以将所述第一基板与所述第二基板安装在一起；

其中，所述第一安装侧和所述第二安装侧中的至少一个具有流体腔室槽，在所述第一基板与所述第二基板安装在一起后，所述流体腔室槽形成具有流体入口和流体出口的流体腔室；以及

其中，具有所述流体腔室槽的所述第一安装侧和/或所述第二安装侧具有与所述流体出口相邻的出口扩展槽，所述出口扩展槽从所述流体出口向下游延伸，并且其中在所述流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓位于所述流体出口的外周轮廓之外。

2.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，所述流体腔室具有多个流体出口，在所述多个流体出口中的每个流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓均位于所述流体出口的外周轮廓之外。

3.根据权利要求2所述的微流体器件，其特征在于，所述多个流体出口具有各自的流体出射方向，并且所述流体出射方向交汇在一起。

4.根据权利要求3所述的微流体器件，其特征在于，所述多个流体出口的流体出射方向的交汇点位于所述出口扩展槽的外部。

5.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，位于同一基板上的所述出口扩展槽的深度大于所述流体腔室槽的深度。

6.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，位于同一基板上的所述出口扩展槽的宽度大于所述流体腔室槽的宽度。

7.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，所述流体腔室内具有过滤器结构。

8.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，所述第一安装侧和所述第二安装侧均具有出口扩展槽，所述出口扩展槽至少在所述流体出口处相互对准。

9.根据权利要求1所述的微流体器件，其特征在于，具有所述流体腔室槽的所述第一安装侧和/或所述第二安装侧具有与所述流体入口相邻的入口扩展槽，所述入口扩展槽从所述流体入口向上游延伸，并且其中在所述流体入口处，所述入口扩展槽的外周轮廓位于所述流体入口的外周轮廓之外。

10.根据权利要求9所述的微流体器件，其特征在于，所述流体腔室具有多个流体入口，在所述多个流体入口中的每个流体入口处，所述入口扩展槽的外周轮廓位于所述多个流体入口的外周轮廓之外。

11.一种液体雾化器，其特征在于，包括根据前述权利要求1至10中任一项所述的微流体器件。

12.一种微流体器件的制造方法，其特征在于，包括：

提供第一基板，所述第一基板具有第一安装侧；

提供第二基板，所述第二基板具有第二安装侧；

在所述第一安装侧上形成多个流体腔室槽，每个所述流体腔室槽具有流体入口与流体出口；

在所述第一安装侧上形成与每个所述流体出口相邻的出口扩展槽，所述出口扩展槽从所述流体出口向下游延伸，并且其中在所述流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓位于所述流体出口的外周轮廓之外；

将所述第一基板的第一安装侧与所述第二基板的第二安装侧相互连接以将所述第一基板与所述第二基板安装在一起，从而所述流体腔室槽形成流体腔室；以及

在每个所述出口扩展槽处切割所述第一基板和所述第二基板，以分离所述多个流体腔室。

13.根据权利要求12所述的制造方法，其特征在于，每个所述流体腔室具有多个流体出口，在所述多个流体出口中的每个流体出口处，所述出口扩展槽的外周轮廓均位于所述流体出口的外周轮廓之外。