[发明专利]一种用于治具自动剥离掩膜版的机构及其工作方法

权利要求书

1.一种用于治具自动剥离掩膜版的机构，所述治具内装有由磁铁吸附的两个掩膜版；其特征在于：包括剥离机构(1)、驱动机构(2)、定位机构(3)、拆装机构(4)、放料机构(7)和压料机构(8)；所述治具安装于所述定位机构(3)内；所述压料机构(8)压住所述治具；所述拆装机构(4)插入所述定位机构(3)内吸附所述治具的磁铁；所述剥离机构(1)负压吸住所述掩膜版；所述驱动机构(2)驱动所述剥离机构(1)移动将所述掩膜版放入所述放料机构(7)内。

2.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：还包括上料机构(5)；所述上料机构(5)包括更换机械臂(51)、旋转装置(52)和伸缩装置(53)；所述旋转装置(52)驱动所述更换机械臂(51)和伸缩装置(53)旋转；所述伸缩装置(53)控制所述更换机械臂(51)移动将所述治具夹持放入或夹持取出所述定位机构(3)内。

3.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述压料机构(8)包括对称安装于所述定位机构(3)的两端并压住所述治具的两个压紧装置(81)。

4.根据权利要求3所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述压紧装置(81)包括支撑杆(82)、压紧动力装置(84)和摆动连接在所述支撑杆(82)上的杠杆压紧机构(83)；所述杠杆压紧机构(83)的一端连接所述压紧动力装置(84)；所述杠杆压紧机构(83)的另一端压住所述治具。

5.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述驱动机构(2)包括第一驱动装置(21)、第二驱动装置(22)、为所述第一驱动装置(21)提供动力的第一动力装置(23)和为所述第二驱动装置(22)提供动力的第二动力装置(24)；所述第一驱动装置(21)驱动所述第二驱动装置(22)和所述剥离机构(1)横向移动；所述第二驱动装置(22)驱动所述剥离机构(1)纵向移动。

6.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述拆装机构(4)包括拆装压紧装置(41)、吸附装置(42)和推动装置(43)；所述拆装压紧装置(41)压住所述治具内磁铁；所述吸附装置(42)吸附所述治具内磁铁；所述推动装置(43)驱动所述拆装压紧装置(41)和吸附装置(42)移动。

7.根据权利要求6所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述拆装压紧装置(41)上并列设置多个压紧块(46)；所述吸附装置(42)上并列设置多个吸附块(49)；所述拆装压紧装置(41)推动所述压紧块(46)在所述吸附块(49)之间移动，所述压紧块(46)顶压住所述治具内磁铁；所述吸附装置(42)推动所述吸附块(49)在所述压紧块(46)之间移动，所述吸附块(49)吸附所述治具内磁铁。

8.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：所述剥离机构(1)包括第一剥离吸盘(11)、剥离旋转机构(13)和安装在所述第一剥离吸盘(11)背面的第二剥离吸盘(12)；所述剥离旋转机构(13)旋转所述第一剥离吸盘(11)和所述第二剥离吸盘(12)并分别负压吸住所述掩膜版。

9.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构，其特征在于：还包括下料机构(6)；所述下料机构(6)包括下料机械臂(61)、下料导向机构(63)和驱动所述下料机械臂(61)旋转的下料旋转机构(62)；所述下料导向机构(63)驱动所述下料机械臂(61)和所述下料旋转机构(62)移动。

10.根据权利要求1所述的用于治具自动剥离掩膜版的机构的工作方法，其特征在于：当所述用于治具自动剥离掩膜版的机构工作时，用于治具自动剥离掩膜版的工作方法包括以下步骤：

a1、将所述治具夹取并放入到所述定位机构(3)内；

b1、所述压料机构(8)压紧并固定所述治具；

c1、所述拆装机构(4)插入所述定位机构(3)内，吸住所述治具内的磁铁并复位；

d1、所述驱动机构(2)驱动所述剥离机构(1)移动至所述定位机构(3)的上端；

e1、所述剥离机构(1)负压吸住所述治具内的掩膜版；

f1、所述驱动机构(2)驱动所述剥离机构(1)移动至所述放料机构(7)的上端，所述治具内的掩膜版脱离所述剥离机构(1)并放入到所述放料机构(7)内；

g1、所述拆装机构(4)插入所述定位机构(3)内，将所述治具内的磁铁装入所述治具内并复位；

h1、将剥离掩膜版后的治具从所述定位机构(3)内取出，重复上述步骤。